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龙图腾网恭喜河南百合特种光学研究院有限公司申请的专利一种提高光照均匀度的调节镜组及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010200B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510500693.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种提高光照均匀度的调节镜组及方法是由张博;张品祥;何录伟;刘玉伟设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提高光照均匀度的调节镜组及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种提高光照均匀度的调节镜组及方法，包括一种提高光照均匀度的调节镜组，该镜组包括第一透镜、第二透镜、镜筒、光纤固定座和三维调节机构，第一透镜和第二透镜均为平凸透镜，第一透镜和第二透镜分别设置在透镜镜座内，透镜镜座设置在镜筒内，且两透镜的凸面相对设置，镜筒的上端设置有光纤安装镜筒，光纤固定座安装在光纤安装镜筒内，三维调节机构设置在光纤安装镜筒和光纤固定座之间，三维调节机构包括旋紧螺母、固定螺母和球头六角调节器；该镜组的调节方法简单，且成本低，以解决现有激光直接成像光刻系统中，由于光纤激光器出光不稳定及调节精度不足，导致曝光光斑能量分布不均匀、产品良率降低等问题。

本发明授权一种提高光照均匀度的调节镜组及方法在权利要求书中公布了：1.一种提高光照均匀度的调节方法，其特征在于：包括一种提高光照均匀度的调节镜组，该镜组包括第一透镜（9）、第二透镜（10）、镜筒（11）、光纤固定座（5）和三维调节机构，第一透镜（9）和第二透镜（10）分别设置在透镜镜座（1）内，透镜镜座（1）设置在镜筒（11）内，且两透镜的凸面相对设置，镜筒（11）的上端设置有光纤安装镜筒（3），光纤固定座（5）安装在光纤安装镜筒（3）内，三维调节机构设置在光纤安装镜筒（3）和光纤固定座（5）之间，三维调节机构包括旋紧螺母（4）、固定螺母（8）和球头六角调节器（2），固定螺母（8）设置在光纤安装镜筒（3）中，且光纤固定座（5）安装在固定螺母（8）上，所述调节方法包括以下具体步骤：步骤一：安装光学镜组，第一透镜（9）和第二透镜（10）分别装在透镜镜座（1）里，使第一透镜（9）和第二透镜（10）以凸面相对的方式通过透镜镜座（1）装配在镜筒（11）内，形成双透镜组合系统；步骤二：三维调节机构的安装，把螺纹衬套（7）装入光纤安装镜筒（3）中，再把球头六角调节器（2）装入螺纹衬套（7）内，把光纤安装镜筒（3）用连接螺钉（12）固定在镜筒（11）上，光纤固定座（5）安装在固定螺母（8）上，固定螺母（8）放入光纤安装镜筒（3）内，用球头六角调节器（2）紧固固定螺母（8），旋紧螺母（4）旋入光纤固定座（5）上，然后拧紧螺帽（6）；步骤三：X、Y方向调节，微松其中的一个方向的球头六角调节器（2），然后拧紧对面的球头六角调节器（2），利用此方式调节偏心；步骤四：Z方向调节，先用扳手通过旋紧螺母调节孔（14）松动旋紧螺母（4），再用扳手通过固定座调节孔（13）旋转调节光纤固定座（5）高度；步骤五：锁紧操作，完成三维调节后，利用双螺母结构锁紧Z向调节位置，可以采用扳手通过旋紧螺母调节孔（14）紧固旋紧螺母（4），通过球头六角调节器（2）锁紧X、Y方向的调节位置，固定其位置后，再旋紧螺帽（6）。

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