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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078726B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110948078.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由高桥朋宏;岸田拓也;折坂昌幸设计研发完成，并于2021-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明能够抑制不均匀地向在贮存于处理槽中的处理液中浸渍的基板供给处理液以提高处理品质。具有：抑制部，在由基板保持部保持的基板与处理液喷出部之间，遮挡从处理液喷出部喷出并且朝向基板的处理液的液流的至少一部分，来抑制从处理液喷出部向基板直接供给处理液；处理液喷出部，设置于由基板保持部保持的基板的下方侧，从处理液喷出口朝向贮存空间的内底面喷出处理液；以及气泡供给部，设置于由基板保持部保持的基板的下方侧且处理液喷出口的上方侧，向贮存于贮存空间的处理液供给气泡。在铅垂方向上的气泡供给部与处理液喷出口之间，将经由贮存空间的内底面向上方流动的处理液的至少一部即分流对象液的液流分流成多个上升流，向基板引导。

本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具有： 处理槽，具有贮存处理液的贮存空间，通过在贮存于所述贮存空间的所述处理液中浸渍基板来处理所述基板； 基板保持部，在所述贮存空间内将所述基板保持为立起姿势； 处理液喷出部，具有从由所述基板保持部保持的所述基板的下方侧朝向所述基板开口的喷出口，并从所述喷出口朝向所述基板喷出所述处理液；以及 抑制部，在由所述基板保持部保持的所述基板与所述处理液喷出部的所述喷出口之间，遮挡从所述处理液喷出部喷出并朝向所述基板的所述处理液的液流的至少一部分，从而抑制从所述处理液喷出部向所述基板直接供给所述处理液， 在将所述基板的面法线朝向第一方向的状态下，所述基板保持部使多个所述基板在所述第一方向上排列并保持， 所述处理液喷出部沿所述第一方向延伸设置， 所述抑制部具有与所述处理液喷出部的所述喷出口对置并沿所述第一方向延伸设置的喷出对置面，从所述处理液喷出部喷出的所述处理液被所述喷出对置面遮挡。

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