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龙图腾网恭喜江苏汇成光电有限公司申请的专利一种合框撕胶机离心层扩容器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114284143B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111561110.1，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权一种合框撕胶机离心层扩容器是由陈广顺;孟强;姜红涛设计研发完成，并于2021-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种合框撕胶机离心层扩容器在说明书摘要公布了：本发明属于离心层扩容器领域，尤其是一种合框撕胶机离心层扩容器，针对现有的离心层扩容器在使用过程中，不便于对晶圆进行定位，且不便于对抗蚀剂进行快速均匀烘干，从而导致降低了硅晶片生产效率的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的外侧铰接有盖板，壳体的顶部通过焊接固定安装有烘干箱，壳体的底部内壁通过焊接固定安装有支座，支座的顶部开设有旋转槽，旋转槽内转动安装有连接板，连接板的顶部通过焊接固定安装有圆盘，圆盘上开设有对称的两个第一滑槽，本发明能够在使用过程中，便于对晶圆进行定位，且便于对抗蚀剂进行快速均匀烘干，从而可以提高硅晶片生产效率，结构简单，使用方便。

本发明授权一种合框撕胶机离心层扩容器在权利要求书中公布了：1.一种合框撕胶机离心层扩容器，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的外侧铰接有盖板（2），壳体（1）的顶部固定安装有烘干箱（3），壳体（1）的底部内壁固定安装有支座（4），支座（4）的顶部开设有旋转槽，旋转槽内转动安装有连接板（5），连接板（5）的顶部固定安装有圆盘（6），圆盘（6）上开设有对称的两个第一滑槽（7），两个第一滑槽（7）内均滑动安装有第一滑块（8），两个第一滑块（8）上设置有定位机构，圆盘（6）内开设有第一空槽，支座（4）内开设有第二空槽（18），烘干箱（3）的底部内壁开设有安装孔，安装孔内固定安装有波纹管（31），波纹管（31）的一端固定连通出气口（30），烘干箱（3）的顶部开设有进气口，进气口内固定安装有防尘板（35），壳体（1）内开设有第三空槽（27）和第四空槽； 所述定位机构包括两个固定块（9），两个固定块（9）的外侧分别与两个第一滑块（8）的顶部固定连接，两个固定块（9）的一侧均开设有第二滑槽，两个第二滑槽内均滑动安装有第二滑块（10），两个第二滑块（10）的外侧均固定连接有弧形夹板（11），两个第二滑块（10）的一侧均固定连接有压缩弹簧（12），两个压缩弹簧（12）的一端分别与两个第二滑槽的一侧内壁固定连接，烘干箱（3）的两侧内壁均固定安装有固定杆（32），两个固定杆（32）的一端固定连接有同一个风机（34），烘干箱（3）内固定安装有多个电加热棒（33），圆盘（6）带动晶圆旋转，同时风机（34）产生风压，开启多个电加热棒（33）产生热量，风机（34）产生的风压将多个电加热棒（33）产生的热量通过波纹管（31）和出气口（30）排出，出气口（30）往复正反转，进而出气口（30）将热量均匀排出。

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