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恭喜瑞声开泰科技(武汉)有限公司杨珊获国家专利权

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龙图腾网恭喜瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请的专利一种MEMS单轴陀螺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114858152B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210323886.8,技术领域涉及:G01C19/5656;该发明授权一种MEMS单轴陀螺是由杨珊;彭宏韬;占瞻;严世涛;马昭;阚枭;黎家健;陈秋玉设计研发完成,并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种MEMS单轴陀螺在说明书摘要公布了:本发明提供了一种MEMS单轴陀螺,包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动解耦结构;传感单元包括并排设置的多个质量块以及连接于相邻每两个质量块之间的摇杆连接件;摇杆连接件与相邻两质量块的连接处位于该两质量块中心连线的同一侧。本发明的MEMS单轴陀螺能够进行差分检测,可抵抗外部电学及机械噪声的干扰,提高器件信噪比;调节两质量块之间的摇杆连接件,使得各质量块矢量位移为零,能够实现质量块力矩平衡,免疫外部线加速度及角加速度的冲击;相比于传统蝶翼式结构单轴陀螺,本方案中各个质量块之间通过摇杆连接件强耦合,保证了各个质量块的位移比,提高器件对工艺的冗余度。

本发明授权一种MEMS单轴陀螺在权利要求书中公布了:1.一种MEMS单轴陀螺,包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及弹性连接于所述锚点单元和所述传感单元的驱动解耦结构;其特征在于, 所述传感单元包括并排设置的多个质量块以及连接于相邻每两个质量块之间的摇杆连接件;所述多个质量块以各自中心的连线为轴对称布置,所述质量块并排布置三个以上,每个所述质量块包括内部开设有收容槽的主体以及连接于所述主体且位于所述收容槽内的弹性结构,所述弹性结构的远离所述主体的一端与所述锚点单元相连;所述摇杆连接件与所述相邻两质量块的连接处位于该两质量块中心连线的同一侧,且所述摇杆连接件与所述锚点单元弹性连接; 所述驱动解耦结构包括两个分别设置于所述多个质量块两端的驱动解耦件、连接于所述驱动解耦件与每间隔设置的所述质量块相应的端部之间的耦合梁、以及与所述驱动解耦件相连的弹性锚接梁组;所述锚点单元还包括连接于所述弹性锚接梁组的锚接梁锚点组;所述驱动解耦件沿平行于所述多个质量块中点连线的方向延伸;所述耦合梁位于所述驱动解耦件与所述质量块的间隙内且沿平行于所述多个质量块中点连线的方向延伸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人瑞声开泰科技(武汉)有限公司,其通讯地址为:430200 湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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