恭喜华海清科股份有限公司温世乾获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115502882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211325516.4，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备是由温世乾;路新春;赵德文;孟松林;李润豪设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备，该承载头包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜和保持环；所述平衡架可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并通过平衡架的底部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，柔性膜的一部分被夹紧至承载盘下部以形成密封腔室；所述承载盘的靠近边缘与保持环邻接的对应位置设有磁吸部，用于吸合保持环。
本发明授权一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜和保持环； 所述平衡架可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并通过平衡架的底部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，柔性膜的一部分被夹紧至承载盘下部以形成密封腔室；所述承载盘的靠近边缘与保持环邻接的对应位置设有磁吸部，用于吸合保持环,所述磁吸部为嵌入承载盘的磁体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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