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龙图腾网恭喜宁波恒普真空科技股份有限公司申请的专利一种应用于立式外延设备的联动提升机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115961345B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211670140.0，技术领域涉及：C30B25/12；该发明授权一种应用于立式外延设备的联动提升机构是由刘鹏;徐文立;沈磊设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于立式外延设备的联动提升机构在说明书摘要公布了：本发明公开一种应用于立式外延设备的联动提升机构，涉及晶片制备技术领域；包括位于反应室中心位置处的基座，基座顶部用于装载基板；反应室内壁环设有上保温层，上保温层下部设有能够升降的下保温层；反应室外底部设有联动提升机构，联动提升机构包括提升架，提升架中间位置固定连接有提升电机座，提升架和提升电机座能够通过驱动机构动作进而同步升降，提升架两端固定连接有对称设置的提升座，提升座顶部连接有推杆，两个推杆顶部穿过反应室底板两端对应的通道法兰后基于安装限位结构与支撑块嵌套，支撑块上依次放置有支撑环和下保温层。本发明提供的应用于立式外延设备的联动提升机构，采用一个提升机构动作，能够实现两侧同步提升。

本发明授权一种应用于立式外延设备的联动提升机构在权利要求书中公布了：1.一种应用于立式外延设备的联动提升机构，其特征在于：包括位于反应室中心位置处的基座，所述基座顶部用于装载基板；所述反应室内壁环设有上保温层，所述上保温层下部设有能够升降的下保温层；所述反应室外底部设有联动提升机构，所述联动提升机构包括提升架，所述提升架中间位置固定连接有提升电机座，所述提升架和提升电机座能够通过驱动机构动作进而同步升降，所述提升架两端固定连接有对称设置的提升座，所述提升座顶部连接有推杆，两个所述推杆顶部穿过反应室底板两端对应的通道法兰后基于安装限位结构与支撑块嵌套，所述支撑块上依次放置有支撑环和所述下保温层；所述提升座外侧对称设有滑轨，所述提升座通过滑块与对应侧的滑轨滑动连接；所述推杆底部固定连接有推杆固定座，所述推杆固定座底部依次与冷却装置和提升座固定连接；所述推杆固定座和冷却装置形成组合式的冷却流道；所述冷却装置包括冷却水座，所述推杆内部中空，所述推杆固定座一侧开设有出水口，所述出水口与所述推杆内部连通，所述冷却水座顶部安装有两端开口的延长管，所述延长管穿过所述推杆固定座后插设于所述推杆内部，所述冷却水座一侧开设有进水口，所述进水口内部一端与所述延长管底部连通；所述推杆外套设有波纹管，所述波纹管底部与所述推杆固定座连接，所述波纹管顶部与所述通道法兰固定密封连接。

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