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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117144312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311009782.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统是由曲永鹏;陈志伟;刘杰波;林海弈设计研发完成，并于2023-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统，包括旋转圆柱靶装置，引弧装置，可活动遮罩装置，主体与电控装置和匀气装置；旋转圆柱靶装置包括处于中间的磁轴和靶材；磁轴包括固定轴、固定压紧块、调节螺母座、固定螺杆、导磁板、磁棒、连接轴套、支撑块、转动连接头一、转动连接头二和导磁遮罩；引弧装置包括钨极、连接块、加长杆、主轴、防镀遮罩、压板、筒座、绝缘垫、导向轴、弹簧压块、绝缘压块、气缸、气缸固定座和接线端头；可活动遮罩装置包括固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩、无油衬套；该设计优化镀膜源系统结构，安装拆卸快捷，引弧更加高效，合理磁场及导磁设计，放电稳定，提高靶材利用率，从而提升成膜质量。

本发明授权一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统在权利要求书中公布了：1.一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统，其特征在于：包括旋转圆柱靶装置，引弧装置，可活动遮罩装置，主体与电控装置和匀气装置； 所述旋转圆柱靶装置包括处于中间的磁轴和靶材、分别位于两端的从动端头组件与主动端头组件和伺服电机；所述伺服电机的输出轴上安装有主动皮带轮，通过皮带将主动皮带轮与主动端头组件内部的从动皮带轮相连接； 所述磁轴包括固定轴、固定压紧块、调节螺母座、固定螺杆、导磁板、磁棒、连接轴套、支撑块、转动连接头一、转动连接头二和导磁遮罩；所述固定轴的两端分别与转动连接头一和转动连接头二相连接；固定轴中间装有支撑块穿入螺钉并用螺母固定，两支撑块中间装有定距轴套和转动轴套穿入螺钉并用螺母固定；多个固定螺杆分别固定于导磁板上，再穿过固定轴并通过调节螺母座和固定压紧块进行固定；磁棒吸附到导磁板上，并用导磁遮罩遮挡住磁棒； 所述引弧装置包括钨极、连接块、加长杆、主轴、防镀遮罩、压板、筒座、绝缘垫、导向轴、弹簧压块、绝缘压块、气缸、气缸固定座和接线端头；导向轴装入筒座中放入压缩弹簧并用弹簧压块压住；导向轴未端固定有绝缘压块，绝缘压块上安装有导向轴上，导向轴前端连接有加长杆、连接块、钨极； 所述可活动遮罩装置包括固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩、无油衬套、固定插销和R形销；固定遮罩、右侧活动遮罩、左侧活动遮罩连接耳孔分别安装上无油衬套，再通过固定插销和R形销固定连接。

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