华海清科股份有限公司曹自立获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆后处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117594487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311481969.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆后处理装置是由曹自立;李灯;李长坤设计研发完成，并于2023-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆后处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，其包括夹持盘，用于夹持并带动晶圆旋转；防护组件，设置于夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩；所述旋转罩连接于夹持盘的外沿，两者的连接处配置有旋转罩排液口；所述固定罩连接于箱体并同心设置于旋转罩的外侧，其下方设置有固定罩排液口；后处理形成的流体经由旋转罩排液口和固定罩排液口朝向箱体底部排放；还包括阻挡组件，其设置于固定罩与箱体的底板之间，以抑制飞散的雾滴经由所述固定罩排液口回沾于晶圆表面。
本发明授权一种晶圆后处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆后处理装置，其特征在于，包括： 箱体； 夹持组件，设置于箱体中，其包括夹持盘，用于竖向夹持并带动晶圆旋转； 防护组件，设置于夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩；所述旋转罩连接于夹持盘的外沿，两者的连接处配置有旋转罩排液口；所述固定罩连接于箱体并同心设置于旋转罩的外侧，其下方设置有固定罩排液口；后处理形成的流体经由旋转罩排液口和固定罩排液口朝向箱体底部排放； 还包括阻挡组件，其设置于固定罩与箱体的底板之间，以抑制飞散的雾滴经由所述固定罩排液口回沾于晶圆表面； 所述阻挡组件包括第一挡板和侧板； 所述第一挡板竖向设置于固定罩与底板之间，其配置有出液口，所述出液口与箱体排液口对应设置；所述侧板设置于第一挡板的两侧并固定于箱体的背板，以形成抑制雾滴外逸的阻隔腔室；所述第一挡板位于固定罩排液口与箱体排液口之间，以将所述固定罩排液口限定于阻隔腔室的内部。
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