纳设智能装备(江苏)有限公司许崇毅获国家专利权
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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利一种驱动传动装置及外延设备反应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117888201B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311864961.2，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权一种驱动传动装置及外延设备反应装置是由许崇毅;肖蕴章;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种驱动传动装置及外延设备反应装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种驱动传动装置，用于外延设备技术领域，具体为一种驱动传动装置，包括驱动轴，驱动轴的上端与反应室内的旋转托盘相连接；驱动轴的下端与设置在反应室外的驱动部件相连接，驱动部件驱动该驱动轴进而带动旋转托盘转动。上述驱动传动装置通过转速和启停可控的驱动部件来带动旋转托盘转动，旋转托盘的转速和启停位置也是可控的，从而解决了现有技术中旋转托盘无法控制转速和启停位置的问题。本申请还提供了一种外延设备反应装置，包括上述驱动传动装置，还包括反应室和旋转托盘。本申请提供的外延设备反应装置，通过利用本申请的驱动传动装置，实现了旋转托盘可控的转速和启停位置，能够方便控制晶圆的加工过程。
本发明授权一种驱动传动装置及外延设备反应装置在权利要求书中公布了：1.一种驱动传动装置，其特征在于，包括： 驱动轴，所述驱动轴的上端与反应室内的旋转托盘相连接；所述驱动轴的下端与设置在所述反应室外的驱动部件相连接，所述驱动部件驱动所述驱动轴带动所述旋转托盘转动； 与所述反应室密封连接的壳体，所述驱动轴设置在所述壳体内，所述驱动部件设置在所述壳体外，所述驱动轴的下端通过磁力联轴器与所述驱动部件实现扭矩传输； 所述驱动轴能带动所述旋转托盘在所述反应室内升降； 所述壳体包括上壳体和下壳体，所述上壳体与所述反应室相连通；所述驱动轴的下端设置在所述下壳体内并与所述下壳体转动连接，所述驱动轴上端能在所述上壳体内伸缩； 所述上壳体为刚性结构且与所述反应室为一体式结构，所述壳体还包括能伸缩的中壳体，所述中壳体设置在所述上壳体和所述下壳体之间； 所述上壳体下端和所述中壳体的上端通过连接法兰相连，所述上壳体下端面和所述中壳体上端面之间设置有密封圈。
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