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广东思沃先进装备有限公司唐寒风获国家专利权

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龙图腾网获悉广东思沃先进装备有限公司申请的专利一种晶圆解胶照射机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222995374U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420809409.7,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆解胶照射机构是由唐寒风;苏玫瑰;陈志勇设计研发完成,并于2024-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆解胶照射机构在说明书摘要公布了:本申请提供了一种晶圆解胶照射机构,其包括:架体,以及设置于架体上的照射组件、移载组件以及遮光组件;架体上开设出光口,出光口正上方设置照射工位,远离出光口一侧设置上料工位;照射组件包括出光组件和快门组件,出光组件设于出光口正下方,快门组件活动设于出光口处以启闭出光口;移载组件开设有照射口,移载组件活动设置于架体;移载组件能够与机械臂相连接以使机械臂吸取的晶圆固定于照射口上方,并使移载组件与机械臂能够同步在上料工位与照射工位之间移动;遮光组件分别沿移载组件的移动方向设置于移载组件的两端。本申请简化了解胶照射机构的结构和加工工序,提升了解胶照射机构使用的便捷性。

本实用新型一种晶圆解胶照射机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆解胶照射机构,其特征在于,包括:架体,以及设置于架体上的照射组件、移载组件以及遮光组件; 所述架体上开设出光口,所述出光口正上方设置照射工位,远离所述出光口一侧设置上料工位; 所述照射组件包括出光组件和快门组件,所述出光组件设于所述出光口正下方,所述快门组件活动设于所述出光口处以启闭所述出光口; 所述移载组件开设有照射口,所述移载组件活动设置于所述架体;所述移载组件能够与机械臂相连接以使机械臂吸取的晶圆固定于所述照射口上方,并使所述移载组件与机械臂能够同步在所述上料工位与所述照射工位之间移动; 所述遮光组件分别沿所述移载组件的移动方向设置于所述移载组件的两端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东思沃先进装备有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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