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龙图腾网获悉上海仁晶测量技术有限公司申请的专利一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222992033U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420991636.6，技术领域涉及：F16F15/067；该实用新型一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置是由李万新设计研发完成，并于2024-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置，包括数量为两个的气缸、壳体和固定板，两个所述气缸呈左右对称分布。该便于膜厚量测机台气动对接的对接装置，通过对气动冲击过程进行缓冲减震，从而对对接部等结构进行保护，进而延长使用的寿命，其次，还能够避免对接部等结构出现歪斜的情况，从而提升了装置的稳定性，进而保证了量测的准确性，其次，还可通过拧动手轮来使两个定位块分别从两个定位槽的内部移出，从而解除对两个连接块的固定，此时便可将两个连接块分别从两个连接槽的内部抽出，以此来将对接气囊给拆卸下来，进而方便了对对接气囊进行更换。

本实用新型一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置在权利要求书中公布了：1.一种便于膜厚量测机台气动对接的对接装置，包括数量为两个的气缸（1）、壳体（6）和固定板（8），两个所述气缸（1）呈左右对称分布，左侧所述气缸（1）的输出端设置有一端与右侧气缸（1）输出端固定连接的安装块（2），所述安装块（2）的顶部左右两侧均设置有连接槽（3），两个所述连接槽（3）的内部均设置有连接块（4），左侧所述连接块（4）的顶部设置有一端与安装块（2）顶部贴合且另一端与右侧连接块（4）顶部固定连接的对接气囊（5），所述壳体（6）位于对接气囊（5）的上方，所述壳体（6）的底部设置有位于对接气囊（5）上方的对接部（7），所述固定板（8）位于壳体（6）的上方，其特征在于：所述固定板（8）的底部左右两侧均设置有框体（9），两个所述框体（9）的内部均设置有一端延伸至其底部且与壳体（6）顶部固定连接的移动块（10），两个所述框体（9）的相对侧内壁上均设置有限位槽（11），两个所述限位槽（11）的内部均设置有一端分别与两个移动块（10）相对侧固定连接的限位块（12），所述固定板（8）的底部设置有位于两个框体（9）之间且数量为两个并呈左右对称分布的液压阻尼器（13），两个所述液压阻尼器（13）的活塞杆均与壳体（6）的顶部固定连接，所述固定板（8）的底部设置有位于两个液压阻尼器（13）之间且数量为两个并呈左右对称分布的固定块（14），两个所述固定块（14）之间设置有一端与固定板（8）底部活动连接且另一端与壳体（6）顶部活动连接的缓冲组件（15），所述安装块（2）的底部设置有位于两个连接槽（3）之间的安装槽（16），所述安装块（2）的底部设置有位于安装槽（16）下方的U型架（17），所述U型架（17）的内壁左右两侧之间设置有螺纹杆（18），所述螺纹杆（18）外侧的左右两端均设置有一端与U型架（17）内底壁活动连接且另一端延伸至安装槽（16）内部并与安装槽（16）内顶壁活动连接的牵引块（19），两个所述连接块（4）的相对侧均设置有定位槽（20），两个所述牵引块（19）的相背侧均设置有一端分别延伸至两个定位槽（20）内部的定位块（21），所述安装槽（16）的内壁前后两侧之间设置有位于两个牵引块（19）相对侧的横板（22），所述螺纹杆（18）的外侧设置有一端与横板（22）底部活动连接且另一端延伸至U型架（17）底部的驱动组件（23）。

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