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龙图腾网获悉山东产研微纳与智能制造研究院有限公司申请的专利一种MEMS气体传感器装置及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118465003B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410648847.4，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种MEMS气体传感器装置及制备方法是由李娜;李元侠;姚亚蕊;张聪聪设计研发完成，并于2024-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS气体传感器装置及制备方法在说明书摘要公布了：涉及半导体气体检测技术领域，尤其是涉及一种MEMS气体传感器装置及制备方法。一种MEMS气体传感器装置，包括第一衬底、第二衬底和第三衬底组成，所述第一衬底和第二衬底之间搭设有第三衬底，所述第一衬底、第二衬底和第三衬底围成正面空腔和背面空腔，所述第一衬底的正面设有加热电极，所述第二衬底正面设有测试电极，所述第三衬底正面设有支撑层，所述加热元件和测试元件设置在支撑层上，所述气敏元件形成于支撑层、加热元件和测试元件上表面。本发明通过一系列制备方法制备了一种MEMS气体传感器装置，解决了半导体金属氧化物MEMS气体传感器机械强度低和功耗高的问题，并节约了制作成本和缩减了器件的体积。

本发明授权一种MEMS气体传感器装置及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS气体传感器装置，其特征在于，包括衬底，所述衬底由第一衬底、第二衬底和第三衬底组成，所述第一衬底和第二衬底之间搭设有第三衬底，所述第一衬底、第二衬底和第三衬底围成正面空腔和背面空腔，所述第一衬底的正面设有加热电极，所述第二衬底正面设有测试电极，所述第三衬底正面设有功能元件，所述功能元件包括加热元件、测试元件和气敏元件，所述加热元件与加热电极连接，所述测试元件与测试电极连接，所述加热元件和测试元件呈凸起状，所述加热元件图案化形成于支撑层上表面，所述测试元件图案化形成于支撑层上表面，所述气敏元件形成于支撑层、加热元件和测试元件上表面，所述第三衬底正面沉积有支撑层，所述加热元件和测试元件设置在支撑层上，所述加热元件和测试元件被第一衬底和第二衬底包围在所述正面空腔内，所述支撑层包括氧化硅和氮化硅组成的两层复合结构，所述正面空腔的深度为5-200um，所述背面空腔的深度为300-600um。

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