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龙图腾网获悉苏州正齐半导体设备有限公司申请的专利一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222994352U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421227070.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统是由黎诗儿;曾腾能;何俊晖设计研发完成，并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于对半导体器件（111）侧壁进行视觉检测的系统，尤其是对所述半导体器件（111）的两个基本垂直的侧壁（109C、109D）进行检测；该系统包括多个光源（105A、105B、107A、107B）、多个光线方向操控部件（115A、115B、117A、117B）；且只需要一个图像获取装置来获取清晰且聚焦的图像，该图像包括了两个侧壁（109C、109D）。

本实用新型一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于对半导体器件侧壁进行视觉检测的系统（101），包括： 至少一个数据处理部件； 图像获取装置（103）； 至少一个第一光源（105A）； 至少一个第二光源（105B）； 至少一个第三光源（107A）； 至少一个第四光源（107B）； 其特征在于，所述第一光源（105A）被配置成发射至少一束第一红外光（106A），所述第一红外光（106A）接触所述半导体器件（111）的第一侧壁（109A）并在接触所述半导体器件（111）的第三侧壁（109C）之前穿透所述半导体器件（111），其中所述第三侧壁（109C）是所述第一侧壁（109A）的相对一侧； 所述第二光源（105B）被配置成发射至少一束第二红外光（106B），所述第二红外光（106B）接触所述半导体器件（111）的第二侧壁（109B）并在接触所述半导体器件（111）的第四侧壁（109D）之前穿透所述半导体器件（111），其中所述第四侧壁（109D）是所述第二侧壁（109B）的相对一侧； 其中所述第二侧壁（109B）垂直于所述第一侧壁（109A），而所述第四侧壁（109D）垂直于所述第三侧壁（109C）； 所述第三光源（107A）被配置成通过至少一个第一光线方向操控部件（115A）发射至少一束第一可见光（113A），所述第一可见光（113A）接触所述半导体器件（111）的第三侧壁（109C）； 所述第四光源（107B）被配置成通过至少一个第二光线方向操控部件（115B）发射至少一束第二可见光（113B），所述第二可见光（113B）接触所述半导体器件（111）的第四侧壁（109D）； 所述系统（101）还包括至少一个第三组光线方向操控部件（117），其被配置成将所述第一红外光（106A）和所述第一可见光（113A）从所述半导体器件（111）的第三侧壁（109C）引导至所述图像获取装置（103）； 所述系统（101）还包括至少一个第四组光线方向操控部件（119），其被配置成将所述第二红外光（106B）和所述第二可见光（113B）从所述半导体器件（111）的第四侧壁（109D）引导至所述图像获取装置（103）； 其中所述图像获取装置（103）被配置成获取至少一个图像（121），该图像（121）包括在一个图像中的所述第三侧壁（109C）的第一子图像（121A）和所述第四侧壁（109D）的第二子图像（121B）。

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