买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118649531B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410770756.8，技术领域涉及：B01D53/26；该发明授权一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统是由郭晋禛;葛菡;纪雪峰设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统，尾气回收处理装置包括冷凝单元、储液单元、脱附吸附单元、提纯单元、输送单元、第一泄压单元和第二泄压单元。其优点在于，通过将冷凝单元与上游气体处理设备、储液单元连通，可将高温气体中所携带的液态分子全部冷凝，并将冷凝液体存储在储液单元的内部；通过将脱附吸附单元与储液单元连通，可对冷凝气体中的液态分子进一步去除，保证冷凝气体的干燥性；通过将提纯单元与所述脱附吸附单元连通，提纯单元仅供小分子氢气通过，从而实现对干燥气体中的杂气去除并将杂气输送至尾气燃烧处理装置进行处理，进一步提升氢气的纯度。

本发明授权一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种尾气回收处理装置，其特征在于，包括： 冷凝单元，冷凝单元与上游气体处理设备连通，用于对经过水洗的高温气体进行冷凝以得到冷凝气体和冷凝液体； 储液单元，储液单元分别与冷凝单元、废液处理装置、尾气燃烧处理装置连通，并位于冷凝单元的下游，用于存储冷凝液体； 脱附吸附单元，脱附吸附单元与储液单元连通，并位于储液单元的下游，用于吸附冷凝气体中的H2O并得到干燥气体； 提纯单元，提纯单元分别与脱附吸附单元、尾气燃烧处理装置连通，并位于脱附吸附单元的下游，用于对干燥气体进行提纯以获得高纯氢气； 输送单元，输送单元分别与提纯单元、下游半导体工艺设备连通，用于将高纯氢气输送至下游半导体工艺设备； 第一泄压单元，第一泄压单元分别与储液单元、尾气燃烧处理装置连通，用于对管路进行泄压； 第二泄压单元，第二泄压单元分别与输送单元、尾气燃烧处理装置连通，用于对管路进行泄压； 气体分析单元，气体分析单元与输送单元连通，并位于输送单元和下游半导体工艺设备的连通处，用于对输入下游半导体工艺设备的气体进行分析；其中，冷凝单元包括： 冷凝元件，冷凝元件分别与上游气体处理设备、储液单元连通，用于对经过水洗的高温气体进行冷凝以得到冷凝气体和冷凝液体； 热交换元件，热交换元件与冷凝元件连通，用于向冷凝元件输送低温液体；第一开关阀元件，第一开关阀元件设置于冷凝元件分别与上游气体处理设备、储液单元、热交换元件连通的管路上，用于控制该管路的流通； 储液单元包括： 储液元件，储液元件分别与冷凝单元、脱附吸附单元、第一泄压单元、废液处理装置、尾气燃烧处理装置连通，并位于冷凝单元的下游、脱附吸附单元的上游，用于存储冷凝液体； 恒温元件，恒温元件设置于储液元件，并对储液元件的外侧壁包覆，用于维持储液元件的内部温度恒定； 第二开关阀元件，第二开关阀元件设置于储液元件分别与冷凝单元、脱附吸附单元、废液处理装置连通的管路上，用于控制该管路的流通； 脱附吸附单元包括： 吸附元件，吸附元件分别与储液单元、提纯单元连通，并位于储液单元的下游、提纯单元的上游，用于过滤冷凝气体中的H2O并得到干燥气体； 脱附元件，脱附元件与吸附元件连通，用于向吸附元件输送高温氮气； 第三开关阀元件，第三开关阀元件设置于吸附元件分别与储液单元、提纯单元、脱附元件连通的管路上，用于控制该管路的流通； 第一单向阀元件，第一单向阀元件设置于吸附元件与提纯单元连通的管路上，用于防止该管路内部的气体逆流； 提纯单元包括： 提纯元件，提纯元件分别与脱附吸附单元、输送单元、尾气燃烧处理装置连通，并位于脱附吸附单元的下游、输送单元的上游，用于过滤干燥气体中的杂气并得到高纯氢气； 第四开关阀元件，第四开关阀元件设置于提纯元件分别与脱附吸附单元、输送单元、尾气燃烧处理装置连通的管路上，用于控制该管路的流通； 第二单向阀元件，第二单向阀元件设置于提纯元件与尾气燃烧处理装置连通的管路上，用于防止该管路内部的气体逆流； 输送单元包括： 输送元件，输送元件分别与提纯单元、第二泄压单元、下游半导体工艺设备连通，用于将高纯氢气输送至下游半导体工艺设备； 真空元件，真空元件设置于输送元件，用于在提纯单元与输送元件的连通处提供真空负压； 第五开关阀元件，第五开关阀元件设置于输送元件，用于控制输送元件的流通； 第三单向阀元件，第三单向阀元件设置于输送元件，用于防止输送元件内部的气体逆流； 第一泄压单元包括： 第一泄压元件，第一泄压元件分别与储液单元、尾气燃烧处理装置连通，用于对储液单元进行泄压； 第四单向阀元件，第四单向阀元件设置于第一泄压元件与尾气燃烧处理装置连通的管路上，用于防止该管路内部的气体逆流； 第二泄压单元包括： 第二泄压元件，第二泄压元件分别与输送单元、尾气燃烧处理装置连通，用于对输送单元进行泄压； 第六开关阀元件，第六开关阀元件设置于第二泄压元件，用于控制第二泄压元件的流通； 第五单向阀元件，第五单向阀元件设置于第二泄压元件与尾气燃烧处理装置连通的管路上，用于防止该管路内部的气体逆流。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。