信利光电股份有限公司张杰获国家专利权
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龙图腾网获悉信利光电股份有限公司申请的专利一种脱膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222994827U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421383458.5，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型一种脱膜装置是由张杰;曾一鑫;陈伟龙设计研发完成，并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种脱膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种脱膜装置，包括：脱膜工位；所述脱膜工位包括至少一个储液槽、若干抽吸装置、若干导液管和若干喷淋喷头；所述脱膜工位内设置至少两个脱膜腔室，每个储液槽为两个脱膜腔室提供药液，各所述储液槽通过各所述导液管与各所述喷淋喷头连通，各所述抽吸装置设置在所述储液槽和所述导液管之间，所述储液槽的药液通过所述抽吸装置从所述导液管泵出，在所述脱膜腔室初步清洁后，将基板转移到下一所述脱膜腔室进一步清洁，最后，导液管的药液从喷淋喷头朝粘附光刻胶的基板喷淋，清洁基板上的光刻胶，同时使用工具将光刻胶从基板上剥离。本申请的每个储液槽为两个脱膜腔室提供药液，保证脱膜液的活性溶解光刻胶，以保证基板的质量。
本实用新型一种脱膜装置在权利要求书中公布了：1.一种脱膜装置，其特征在于，包括：脱膜工位； 所述脱膜工位包括至少一个储液槽、若干抽吸装置、若干导液管和若干喷淋喷头；所述脱膜工位内设置至少两个脱膜腔室，所述脱膜腔室用于清洁粘附光刻胶的基板，所述基板依次经过各所述脱膜腔室；每个所述储液槽为两个所述脱膜腔室提供药液，所述喷淋喷头分别设置在所述脱膜腔室的顶部，所述喷淋喷头朝向所述脱膜腔室内的基板，各所述储液槽通过各所述导液管与各所述喷淋喷头连通，各所述抽吸装置设置在所述储液槽和所述导液管之间，所述储液槽的药液通过所述抽吸装置从所述导液管泵出。
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