常州比太科技有限公司范恒灵获国家专利权
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龙图腾网获悉常州比太科技有限公司申请的专利一种硅片装载机构以及使用其装载机构的镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990192U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421440251.7，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种硅片装载机构以及使用其装载机构的镀膜设备是由范恒灵;许燕君;刘奇尧;上官泉元设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片装载机构以及使用其装载机构的镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种硅片装载机构以及使用其装载机构的镀膜设备，本装置包括：承载板和设置在所述承载板上的承载框，其中，所述承载框围合形成承载腔，所述承载腔的高度与若干硅片厚度相对应。本实用新型通过将硅片堆叠在同一个载具上，从而对硅片进行侧壁镀膜，大大提高了工作效率。
本实用新型一种硅片装载机构以及使用其装载机构的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片装载机构，其特征在于，包括： 承载板和设置在所述承载板上的承载框，其中， 所述承载框围合形成承载腔，所述承载腔的高度与若干硅片厚度相对应，以便于将所述硅片堆叠在所述承载腔内； 所述承载框的截面呈L形， 所述承载框位于所述硅片的拐角处； 所述承载腔的上方还设置有盖板，其中， 所述盖板的尺寸大于所述承载腔尺寸。
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