买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏第三代半导体研究院有限公司申请的专利前驱体预混合封装装置及气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990204U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421465601.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型前驱体预混合封装装置及气相沉积系统是由闫其昂;王国斌设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本前驱体预混合封装装置及气相沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种前驱体预混合封装装置及气相沉积系统，前驱体预混合封装装置包括第一容器、第二容器、第三容器以及进气管和排气管，其中第一容器具有第一容置腔，用于容置前驱体溶液。第二容器设置在第一容器上并与第一容器连通，用于容置前驱体溶液并提供缓冲空间。第三容器设置在第二容器上并与第二容器连通，用于容置固态前驱体和或液态前驱体。进气管和排气管均与第一容置腔相连通。固态前驱体和液态前驱体在第三容器中独立容置后进行混合，在反应开始前混合固态前驱体和液态前驱体，避免了液态前驱体在安装到气相沉积设备之前，可能会出现的性能变化，有助于确保反应的稳定性和可重复性，从而提高了制备高质量化合物的效率。

本实用新型前驱体预混合封装装置及气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种前驱体预混合封装装置，其特征在于，包括： 第一容器100，具有第一容置腔110，用于容置液态前驱体； 第二容器200，所述第二容器200设置在所述第一容器100上并与所述第一容器100连通，所述第二容器200用于容置前驱体溶液并提供缓冲空间； 第三容器300，所述第三容器300设置在所述第二容器200上并与所述第二容器200连通，用于容置固态前驱体和或液态前驱体； 进气管400和排气管500，所述进气管400与第一容置腔110相连通，所述排气管500与第一容置腔110相连通； 其中，所述第三容器300具有相互连通的第二容置腔310和第三容置腔320，所述第二容置腔310用于容置固态前驱体，所述第三容置腔320用于容置液态前驱体，所述第二容置腔310和第三容置腔320在水平面上的垂直投影重合，所述第三容置腔320设置在所述第二容置腔310远离所述第一容置腔110的一侧； 所述第二容置腔310内设有导流结构，所述导流结构用于改变流入所述第二容置腔310内的液态前驱体的流向，以引导液态前驱体与固态前驱体混合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏第三代半导体研究院有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。