大连恒昇机械有限公司邱彦兴获国家专利权
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龙图腾网获悉大连恒昇机械有限公司申请的专利一种半导体研磨机防结晶喷水装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222986642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421451923.4,技术领域涉及:B24B41/00;该实用新型一种半导体研磨机防结晶喷水装置是由邱彦兴;邱嘉博设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体研磨机防结晶喷水装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体研磨机防结晶喷水装置,喷水装置由底座、底座支架、手柄、十字盘头螺钉、O型圈、内接管、开槽平端紧定螺钉、陶瓷珠、球型管、连接螺母、尾部接管、雾化喷头组成,本实用新型通过设置球形管和雾化喷头实现喷水装置多角度转动,从而向芯片各个角度喷水去除抛光液,通过设置可拆卸底座支架可实现喷水装置的自由拆卸,方便安装,降低设备成本。
本实用新型一种半导体研磨机防结晶喷水装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体研磨机防结晶喷水装置,其特征在于,包括:长方体底座1、底座支架2、手柄3、内接管6、连接螺母10、尾部接管11、雾化喷头12,所述底座1下侧外表面设有四个螺丝限位孔101以及过水口102,所述底座支架2由两个互相垂直的金属片组成,一个所述金属片设有位置、大小与所述螺丝限位孔101相同的底座限位孔,所述底座限位孔通过十字盘头螺钉4将所述底座支架2螺旋固定连接到所述底座1下侧,另一个所述金属片设有底座支架固定螺孔; 所述底座1左侧外表面设有手柄限位孔103,所述手柄3设有螺纹限位柱301,所述手柄3通过所述螺纹限位柱301螺旋连接到所述底座1左侧外表面的所述手柄限位孔103; 所述底座1前侧外表面设有与所述内接管6管道直径相同的管道螺孔104,所述管道螺孔104沿孔道外围贴合设有双层O型圈5,所述内接管6的一端设有空心螺纹柱601,所述管道螺孔104通过所述O型圈5旋转连接所述空心螺纹柱601,所述内接管6的管壁上设有开槽平端紧定螺钉7,所述开槽平端紧定螺钉7与管壁的开口处滑动设有陶瓷珠8,所述内接管6的上下管壁通过陶瓷珠8转动连接,所述内接管6的另一端管口处外壁设有螺纹,内壁呈锥形开口,所述锥形开口直径大于球型管9的圆球直径,所述球型管9圆球部分滑动套合在所述锥形开口内,所述连接螺母10呈圆柱形,所述连接螺母10开口较大的一端壁内设有螺旋,所述连接螺母10通过螺纹螺旋连接所述内接管6另一端外壁的所述螺纹,所述连接螺母10另一端直径小于所述球型管9圆球直径,所述球型管9一端设有圆柱形空心螺纹管901,所述空心螺纹管901直径与所述连接螺母10另一端直径相同,所述尾部接管11设有双通螺纹嵌套孔111,所述球型管9通过所述空心螺纹管901穿过所述连接螺母10的另一端,旋合连接至所述尾部接管11中的一个所述双通螺纹嵌套孔111,所述雾化喷头12下方设有空心螺旋柱121,所述雾化喷头12通过所述空心螺旋柱121旋合连接所述尾部接管11中的所述双通螺纹嵌套孔111的另一孔道,所述雾化喷头12由三层柱形金属件组成,所述金属件包括:底层金属件圆形固定盘122,中层金属件六棱形螺丝扣123,顶层金属件圆形雾化喷水头124,所述雾化喷水头124通过所述螺丝扣123螺旋连接至所述固定盘122。
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