上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司王占柱获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司申请的专利晶圆卡盘以及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222995380U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421522815.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型晶圆卡盘以及半导体设备是由王占柱;陆闻;孙喆;杨立军;崔瑞军;陈克禄设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆卡盘以及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供一种晶圆卡盘以及半导体设备,在采用晶圆卡盘卡接晶圆时,晶圆的一端抵接在卡接部,卡接部固定设置在晶圆载盘上用于确保晶圆的初始定位,在晶圆利用卡接部进行初始定位后,通过夹紧块朝向卡接部滑动,并在夹紧位置使晶圆在晶圆载盘上进行固定。在半导体设备工作时,为了匹配不同尺寸的晶圆,设计了多个不同尺寸放置区的晶圆卡盘,静电卡盘通过吸引力将晶圆卡盘固定在静电卡盘上。如此,通过一个静电卡盘和多个不同尺寸放置区的晶圆卡盘就能固定不同尺寸的晶圆,提高了晶圆加工的灵活性和效率。
本实用新型晶圆卡盘以及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆卡盘,其特征在于,包括: 晶圆载盘,用于放置晶圆; 卡接部,固定设置在所述晶圆载盘上; 夹紧块,与所述卡接部相对应,所述夹紧块在晶圆载盘上具有夹紧位置,所述夹紧块处于夹紧位置的状态下,所述夹紧块和卡接部相配合来卡接所述晶圆; 所述晶圆卡盘还包括:固定构件,与所述晶圆载盘固定连接,所述夹紧块滑动设置在所述固定构件上,所述夹紧位置位于所述夹紧块滑动路径上; 所述晶圆载盘具有用于放置晶圆的放置区;所述固定构件位于所述放置区,所述晶圆位于放置区的状态下,所述固定构件被所述晶圆覆盖。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区牛顿路200号7号楼单元1;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。