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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种精确控压的刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118645417B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410853677.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种精确控压的刻蚀设备是由林洋洋;孙文彬;王显亮设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精确控压的刻蚀设备在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种精确控压的刻蚀设备，包括刻蚀主体、控压环、传动杆、传动环、第一弹性件和调位组件，刻蚀主体包括反应室，控压环设于反应室内，传动杆沿周向间隔设有多个，传动杆的第一端穿设刻蚀主体并与控压环连接；传动环设于刻蚀主体的顶部，传动环朝向刻蚀主体的一侧与传动杆的第二端相抵持；第一弹性件设于传动杆与刻蚀主体之间，调位组件沿周向间隔设有多个，调位组件包括第一限位件和锁紧件，第一限位件与传动环背向刻蚀主体的一侧相抵持。本发明提供的精确控压的刻蚀设备，通过第一限位件的移动调节控压环的位置，锁紧件锁紧限位第一限位件，可以增大作用于待刻蚀产品上的等离子体的密度可调范围，改善刻蚀精度。

本发明授权一种精确控压的刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种精确控压的刻蚀设备，其特征在于，包括： 刻蚀主体100，包括反应室，所述反应室内能放置待刻蚀产品； 控压环200，设于所述反应室内，等离子气体能流经所述控压环200的内环并作用于所述待刻蚀产品上； 传动杆300，沿周向间隔设有多个，所述传动杆300的第一端沿轴向滑动穿设所述刻蚀主体100并与所述控压环200连接； 传动环400，设于所述刻蚀主体100的顶部，所述传动环400朝向所述刻蚀主体100的一侧与所述传动杆300的第二端相抵持； 第一弹性件500，设于所述传动杆300与所述刻蚀主体100之间，所述第一弹性件500使所述传动杆300的第二端始终具有沿轴向朝所述控压环200挤压的趋势； 调位组件600，沿周向间隔设有多个，所述调位组件600包括第一限位件610和与所述第一限位件610相对设置的锁紧件620，所述第一限位件610与所述传动环400背向所述刻蚀主体100的一侧相抵持，所述第一限位件610能沿轴向移动以带动所述传动环400沿轴向移动，所述锁紧件620用于锁紧限位所述第一限位件610于所述刻蚀主体100上。

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