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江苏容道社半导体设备科技有限公司胡军胜获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏容道社半导体设备科技有限公司申请的专利一种涂胶机晶圆传输机械手获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222984816U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421539892.8,技术领域涉及:B05C13/02;该实用新型一种涂胶机晶圆传输机械手是由胡军胜;张宽宽;赵生龙;胡根生;张广东设计研发完成,并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种涂胶机晶圆传输机械手在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种涂胶机晶圆传输机械手,包括底板,所述底板上端面后侧固定有龙门架,所述龙门架上固定有第一导轨,所述底板上还固定有伺服电机,所述伺服电机的输出端与减速机连接,所述减速机的输出端固定有第二齿轮,所述第二齿轮与第一齿带啮合实现传动作用,所述第一齿带与活动架之间为固定连接,所述活动架上固定有DD马达,所述DD马达的输出端固定有安装架。该涂胶机晶圆传输机械手,升降Z轴应用龙门架结构,导轨两侧对称布置,受力均匀,旋转电机采用DD马达,与负载直连,4X轴手柄结构优化设计,使体积缩小,重量减轻,从而可以有效解决传统机械手高速运动过程中产生抖动的稳定,进而更好的满足实际使用需求。

本实用新型一种涂胶机晶圆传输机械手在权利要求书中公布了:1.一种涂胶机晶圆传输机械手,包括底板1,其特征在于:所述底板1上端面后侧固定有龙门架2,所述龙门架2上固定有第一导轨3,所述底板1上还固定有伺服电机4,所述伺服电机4的输出端与减速机5连接,所述减速机5的输出端固定有第二齿轮6,所述第二齿轮6与第一齿带7啮合实现传动作用,所述第一齿带7与活动架8之间为固定连接,所述活动架8上固定有DD马达9,所述DD马达9的输出端固定有安装架10。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏容道社半导体设备科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇芦墟临沪大道3335号厂区车间二楼二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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