苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利晶圆加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995375U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421621994.4，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆加热装置是由赵裕兴;杨磊设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆加热装置，从下往上依次包括底座板和载台上板，在载台上板上安装有吸附圆盘；在吸附圆盘下方的压盘顶部的压盘腔体内安装有加热垫，吸附圆盘的底部与下方的加热垫紧贴；顶升电机顶部的驱动端驱动上方的升降圆盘在竖直方向上移动，在升降圆盘上安装有若干个导向杆，在导向杆的顶部安装有吸嘴。本实用新型可以作为单独的载台使用，也可以集成在自动化机台内使用；可通过控制不同的吸附区域从而兼容不同尺寸晶圆片的加热工艺。
本实用新型晶圆加热装置在权利要求书中公布了：1.晶圆加热装置，从下往上依次包括底座板1和载台上板4，所述底座板1通过若干个立柱2与上方的载台上板4连接在一起，在所述载台上板4上安装有吸附圆盘7；其特征在于：在所述吸附圆盘7与下方的载台上板4之间设置有压盘6，在所述吸附圆盘7下方的压盘6顶部的压盘腔体内安装有加热垫14，所述吸附圆盘7的底部与下方的加热垫14紧贴； 在所述载台上板4的下方通过若干个连接柱23安装有顶升固定盘19，在所述顶升固定盘19底部的中间位置通过电机安装板22安装有顶升电机20，在所述顶升固定盘19和载台上板4之间设置有升降圆盘18，所述顶升电机20顶部的驱动端驱动上方的升降圆盘18在竖直方向上移动，在所述升降圆盘18上安装有若干个导向杆17，在所述导向杆17的顶部安装有吸嘴13，所述导向杆17可从下往上依次穿过载台上板4、压盘6、加热垫14和吸附圆盘7的导向孔后并延伸至吸附圆盘7的上方。
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