先微精艺(苏州)科技有限公司杨万获国家专利权
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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于晶圆刷洗的滚刷设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995354U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421667252.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型适用于晶圆刷洗的滚刷设备是由杨万;王铭志;徐学楼设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于晶圆刷洗的滚刷设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于晶圆刷洗的滚刷设备，包括有驱动装置，驱动装置的驱动端设置有延长对接装置，延长对接装置的前端套设有滚筒刷，滚筒刷上设置有固定组件，滚筒刷与延长对接装置通过固定组件实现相对锁紧，驱动装置包括有固定座，固定座上安装有伺服电机，伺服电机的驱动端设置有联轴器，联轴器上设置有连接轴，连接轴与延长对接装置相连，连接轴穿过固定座。由此，驱动装置设置有独立的固定座，可以实现伺服电机的稳定安装，不会在使用期间出现非必要的共振。设有连轴器，能满足伺服电机更好的驱动导向，且避免出现非必要的硬插拔结合，不损伤伺服电机的驱动端。
本实用新型适用于晶圆刷洗的滚刷设备在权利要求书中公布了：1.适用于晶圆刷洗的滚刷设备，包括有驱动装置，其特征在于：所述驱动装置的驱动端设置有延长对接装置，所述延长对接装置的前端套设有滚筒刷，所述滚筒刷上设置有固定组件，所述滚筒刷与延长对接装置通过固定组件实现相对锁紧，所述驱动装置包括有固定座，所述固定座上安装有伺服电机，所述伺服电机的驱动端设置有联轴器，所述联轴器上设置有连接轴，所述连接轴与延长对接装置相连，所述连接轴穿过固定座。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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