上海科技大学鞠旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海科技大学申请的专利一种真空释气率测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222994431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421688314.0，技术领域涉及：G01N33/00；该实用新型一种真空释气率测试装置是由鞠旭东;刘鹏;刘志;陶林泽;翟琼华设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空释气率测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型一种真空释气率测试装置，涉及半导体器件领域。一种真空释气率测试装置包括依次连接的真空腔体、分子泵和机械泵。真空腔体上设有多个第一法兰窗口、多个第二法兰窗口、进样门和真空规。其中，分子泵和进样门分别通过不同的第一法兰窗口与真空腔体连接，真空规通过第二法兰窗口与真空腔体连接。通过上述设置，本装置实现了对面探测器中各部件真空释气率的测试，并且该装置结构相对简单，操作较为方便。
本实用新型一种真空释气率测试装置在权利要求书中公布了：1.一种真空释气率测试装置，其特征在于：包括依次连接的真空腔体1、分子泵2和机械泵3；所述真空腔体1上设有多个第一法兰窗口11、多个第二法兰窗口12、进样门13和真空规14； 其中，所述分子泵2和所述进样门13分别通过不同的所述第一法兰窗口11与所述真空腔体1连接，所述真空规14通过所述第二法兰窗口12与所述真空腔体1连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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