技感半导体设备(南通)有限公司梁猛获国家专利权
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龙图腾网获悉技感半导体设备(南通)有限公司申请的专利基板水洗治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995355U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421709501.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基板水洗治具是由梁猛;赵凯;林海涛;刘越;姜菲菲;刘强设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板水洗治具在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种涉及基板清洗领域的基板水洗治具，包括载板、载板限位框、盖板以及盖板限位框，载板限位框分布在载板四周，盖板限位框分布在盖板四周，载板通过载板限位框和盖板限位框的配合与盖板固连；载板上设有多个呈格栅式排列的第一安装模块，盖板上设有多个呈格栅式排列的第二安装模块，第一安装模块与第二安装模块一一对应，且第一安装模块和第二安装模块上包裹有硫化橡胶，第一安装模块和第二安装模块通过硫化橡胶与基板软接触，基板限位固定于第一安装模块和第二安装模块之间。本实用新型清洗面积扩大、提高缓冲性，对基板进行XY轴向上的限制，提高整体结构的稳定性，便于放置；用硫化橡胶进行软接触，防止刮伤、碰伤、咯伤。
本实用新型基板水洗治具在权利要求书中公布了：1.一种基板水洗治具，其特征在于，包括载板1、载板限位框11、盖板2以及盖板限位框21，所述载板限位框11分布在所述载板1四周，所述盖板限位框21分布在所述盖板2四周，所述载板1通过所述载板限位框11和所述盖板限位框21的配合与所述盖板2固连； 所述载板1上设有多个呈格栅式排列的第一安装模块，所述盖板2上设有多个呈格栅式排列的第二安装模块，所述第一安装模块与所述第二安装模块一一对应，且所述第一安装模块和所述第二安装模块上包裹有硫化橡胶3，所述第一安装模块和所述第二安装模块通过所述硫化橡胶3与基板软接触，基板限位固定于所述第一安装模块和所述第二安装模块之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人技感半导体设备(南通)有限公司，其通讯地址为：226017 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室(CSSD)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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