上海芯之翼半导体材料有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯之翼半导体材料有限公司申请的专利门阀密封结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222992135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421705745.3,技术领域涉及:F16J15/10;该实用新型门阀密封结构是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本门阀密封结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种门阀密封结构,其用于半导体离子镀法或电浆蚀刻工艺真空腔,包括:弹性密封件环绕粘合在距离门阀基座板边缘第一距离的位置;耐腐蚀阻挡密封件粘合在弹性密封件内侧的基座板上,其与弹性密封件形成有第二距离;工作时,弹性密封件受压产生形变,直至弹性密封件与耐腐蚀阻挡密封件高度一致。本实用新型提供的门阀密封结构外侧有一圈可形变密封圈,内侧有一圈阻挡圈;门阀在使用时,外侧的可形变密封圈会先压缩密封,内侧的阻挡圈在可形变密封圈达到其密封标准压缩量时刚好接触到对手件,这样内侧的阻挡圈可以阻挡绝大部分的电浆,电浆无法直接轰击到可形变密封圈,从而延长门阀的使用寿命。
本实用新型门阀密封结构在权利要求书中公布了:1.一种门阀密封结构,其用于半导体离子镀法或电浆蚀刻工艺真空腔,其特征在于,包括: 弹性密封件(5),其环绕粘合在距离门阀基座板边缘第一距离的位置; 耐腐蚀阻挡密封件(6),其粘合在弹性密封件(5)内侧的基座板上,其与弹性密封件(5)形成有第二距离; 工作时,弹性密封件(5)受压产生形变,直至弹性密封件(5)与耐腐蚀阻挡密封件(6)高度一致,耐腐蚀阻挡密封件(6)阻挡弹性密封件(5)继续形变。
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