江苏润阳世纪光伏科技有限公司钟芷若获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏润阳世纪光伏科技有限公司申请的专利一种改善管式PECVD气体均匀性的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421710825.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种改善管式PECVD气体均匀性的装置是由钟芷若设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善管式PECVD气体均匀性的装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产技术领域，公开了一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其包括：中部进气管道，中部进气管道连接于双舟炉管顶部中心；中部进气管道的两个进气端分别与特气进气管道和氮气进气管道连接，中部进气管道的出气端正对双舟炉管内石墨舟的后舟前部。本实用新型将特气进气管道和氮气进气管道交汇于一根中部进气管道，中部进气管道设置于双舟炉管顶部中心，对准后舟前部；在炉中增加中部进气管道，使得后舟气体均匀性更佳，优化了后舟膜层均匀性；此装置对管式PECVD设备炉门改造简单可操作，成本低；既不影响生产产能，又能实现显著提升晶硅电池镀膜均匀性，从而为电池进一步提高效率提供了更大的空间。
本实用新型一种改善管式PECVD气体均匀性的装置在权利要求书中公布了：1.一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其特征在于，包括： 中部进气管道2，中部进气管道2连接于双舟炉管1顶部中心；中部进气管道2的两个进气端分别与特气进气管道3和氮气进气管道4连接，中部进气管道2的出气端正对双舟炉管1内石墨舟的后舟前部。
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