苏州维克优真空技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州维克优真空技术有限公司申请的专利一种基片载板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990193U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421740831.8，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种基片载板是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片载板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片载板，包括底板，所述底板上设置有多根横向限位条和多根竖向限位条，多根横向限位条和多根竖向限位条将底板分隔成多个基片放置腔；所述基片放置腔内设置有支撑结构；所述横向限位条和竖向限位条与底板可拆卸连接，所述横向限位条和竖向限位条包括竖向段和与竖向段底部连接的横向段，所述支撑结构的高度高于横向段的高度，本结构中将横向限位条和竖向限位条设计成可拆卸结构，从而使得当需要清洗载板时只需将各限位条更换清洗即可。相较于现有技术可有效降低载板使用成本，提升载板使用效率，同时通过支撑结构的设置可实可降低基板与载板的接触面积，减少对基片的损伤。
本实用新型一种基片载板在权利要求书中公布了：1.一种基片载板，其特征在于：包括底板1，所述底板1上设置有多根横向限位条2和多根竖向限位条3，多根横向限位条2和多根竖向限位条3将底板1分隔成多个基片放置腔4； 所述基片放置腔4内设置有支撑结构5； 所述横向限位条2和竖向限位条3与底板1可拆卸连接，所述横向限位条2和竖向限位条3包括竖向段201和与竖向段201底部连接的横向段202，所述支撑结构5的高度高于横向段202的高度。
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