浙江埃纳检测技术有限公司朱琪获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江埃纳检测技术有限公司申请的专利一种晶圆边缘检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222994350U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421797172.1，技术领域涉及：G01N21/94；该实用新型一种晶圆边缘检测装置是由朱琪;鉏晨涛;钱宝华设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆微污染检测的领域，公开了一种晶圆边缘检测装置，包括平台，所述平台的顶面固定有校准台，所述平台的顶面固定有线性传感器，所述平台的顶面固定有第一驱动槽，所述第一驱动槽的一侧固定有第一电机，所述第一驱动槽的上方滑动设置有第二驱动槽，所述第二驱动槽的一侧固定有第二电机，所述第二驱动槽的上方滑动设置有滑动板，所述滑动板的一侧固定有升降气缸，所述升降气缸伸缩杆的顶端转动设置有转盘，所述转盘的顶面固定有吸盘。在本实用新型中，将吸盘的中轴线与晶圆的中轴线调整至同一直线，增加了对晶圆检测的精度。
本实用新型一种晶圆边缘检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘检测装置，包括平台1，其特征在于，所述平台1的顶面固定有校准台2，所述平台1的顶面固定有线性传感器3，所述平台1的顶面固定有第一驱动槽4，所述第一驱动槽4的一侧固定有第一电机7，所述第一驱动槽4的上方滑动设置有第二驱动槽5，所述第二驱动槽5的一侧固定有第二电机8，所述第二驱动槽5的上方滑动设置有滑动板6，所述滑动板6的一侧固定有升降气缸9，所述升降气缸9伸缩杆的顶端转动设置有转盘10，所述转盘10的顶面固定有吸盘11。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江埃纳检测技术有限公司，其通讯地址为：314499 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号2号楼1040(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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