台湾积体电路制造股份有限公司李宥纁获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微机电系统致动器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222989789U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421821773.1，技术领域涉及：B81B3/00；该实用新型微机电系统致动器是由李宥纁设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统致动器在说明书摘要公布了：提供了具有微弹簧结构的微机电系统MEMS致动器。一实施性MEMS致动器包含第一微机械臂阵列及第二微机械臂阵列，第一微机械臂阵列包含在第一水平方向彼此间隔开的多个第一微机械臂，第二微机械臂阵列包含在第一水平方向彼此间隔开的多个第二微机械臂。第一微机械臂阵列及第二微机械臂阵列该第一水平方向上介入。MEMS致动器还包含连接至每一第一微机械臂的金属连接结构及设置于金属连接结构与第二微机械臂中的一者之间的垂直微弹簧结构。垂直微弹簧结构包含连接至金属连接结构的上部部分及连接至第二微机械臂的顶端的下部部分。
本实用新型微机电系统致动器在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统致动器，其特征在于，包括： 一第一微机械臂阵列，包括在一第一水平方向上彼此间隔开且在一第二水平方向上延伸的多个第一微机械臂； 一第二微机械臂阵列，包括在该第一水平方向上彼此间隔开且在该第二水平方向上延伸的多个第二微机械臂，其中该第一微机械臂阵列与该第二微机械臂阵列在该第一水平方向上介入； 一金属连接结构，在该第一水平方向上延伸，其中该金属连接结构连接至所述多个第一微机械臂的每一者的一顶端；及 一垂直微弹簧结构，设置于该金属连接结构与所述多个第二微机械臂中的一者之间，其中该垂直微弹簧结构包括： 一上部部分，连接至该金属连接结构；及 一下部部分，连接至所述多个第二微机械臂的该者的一顶端， 其中该上部部分及该下部部分连接于该垂直微弹簧结构的一中心处且形成面向水平的一第一拐角。
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