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龙图腾网获悉苏州赛美达半导体科技有限公司申请的专利一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118919475B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411028704.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具是由杜春辉;冯建炜设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆夹具技术领域，具体涉及一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座，所述底座的顶部外壁转动连接有通道三，所述主吸板的底部外壁固定连接有圆形安装板，所述圆形安装板的内壁滑动连接有两个限位保护杆，所述圆形安装板的外壁开设有四个气口三，所述圆形安装板的外壁转动连接有环形通道一，所述环形通道一的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一，所述安装环一的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构。综上所述，本发明通过托杆子阻碍浮子的位移从而实现气体通道的更换，使得副吸板既可以辅助蓝膜与晶圆的贴合，还可以将贴好蓝膜的晶圆进行翻面，便于后续的切割。

本发明授权一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座，其特征在于：底座的顶部外壁转动连接有通道三，通道三的顶部外壁转动连接有通道四，通道四的顶部外壁固定连接有通气筒，通气筒的内壁滑动连接有密封滑板一，密封滑板一的内壁滑动连接有固定环板，固定环板通过设置的连杆与通气筒的内壁固定连接，固定环板的顶部外壁固定连接有主吸板，主吸板的外壁滑动连接有安装环一，安装环一的底部外壁固定连接有传动齿环，传动齿环的外壁啮合有齿轮五，齿轮五的外壁固定连接有电机二，电机二的外壁固定连接有固定板五，固定板五的外壁与主吸板的底部固定连接，固定环板的内部设置有通道五，通道五与主吸板的底部外壁固定连接，通道五的内壁滑动连接有浮子，浮子的内壁开设有若干均匀分布的气口一，浮子的下方开设有三个均匀分布的气口二，通道五的外壁连通有两个呈对称分布的通道六，两个通道六远离通道五的一端均固定连接有连接口二，密封滑板一的外壁转动连接有安装环二，两个通道六的下方设置有同一个转动环一，转动环一与通气筒的外壁转动连接，主吸板的底部外壁固定连接有圆形安装板，圆形安装板的内壁滑动连接有两个限位保护杆，圆形安装板的外壁开设有四个气口三，圆形安装板的外壁转动连接有环形通道一，环形通道一的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一，安装环一的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构，两用机构包括副吸板、滑杆一、第一轴杆、安装块一、电机一、连接口一、第一轴杆和齿柱。

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