江苏西米半导体有限公司朱春获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏西米半导体有限公司申请的专利晶圆360度无死角旋转喷淋机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222985071U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421857481.3，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型晶圆360度无死角旋转喷淋机构是由朱春;林芳健设计研发完成，并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆360度无死角旋转喷淋机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆360度无死角旋转喷淋机构，包括立板、设置于立板上的能够将晶圆片边缘夹持并驱动其旋转的夹片旋转组件以及能够对晶圆片顶部和底部喷淋的喷淋组件。该晶圆360度无死角旋转喷淋机构能够将晶圆片边缘夹持，并驱动其转动，配合喷淋头能够实现360度无死角旋转清洗，从而大大提高了晶圆片的清洗效果，而摩擦轮的夹持结构，尽可能地减少与晶圆片的接触面积，不会损伤晶圆片表面，从而保证了产品质量。
本实用新型晶圆360度无死角旋转喷淋机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆360度无死角旋转喷淋机构，其特征在于：包括立板、设置于立板上的能够将晶圆片边缘夹持并驱动其旋转的夹片旋转组件以及能够对晶圆片顶部和底部喷淋的喷淋组件； 所述夹片旋转组件包括升降气缸、升降支座、第一步进电机、滚珠丝杠、滑块、第二步进电机、支板及摩擦轮，所述升降气缸固定于立板上并与升降支座相连，升降气缸能够驱动升降支座上下升降，所述滚珠丝杠转动连接于升降支座上，滚珠丝杠上设置有一组滑块，所述第一步进电机与滚珠丝杠相连，第一步进电机能够驱动两滑块沿滚珠丝杠移动，两滑块上分别固定有支板，所述支板一端分别固定有第二步进电机，支板另一端分别转动连接有一组摩擦轮，第二步进电机与摩擦轮相连，摩擦轮上开设有能够供晶圆片边缘嵌入的夹槽，第二步进电机能够驱动摩擦轮转动，从而带动晶圆片转动； 所述喷淋组件包括相对设置的上喷淋组件及下喷淋组件，上喷淋组件或下喷淋组件包括固定于立板上的喷淋管以及均匀分布于喷淋管上的若干喷淋头。
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