三和技研股份有限公司陈安如获国家专利权
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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利晶圆载具仓储系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222988957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421864418.2，技术领域涉及：B65G1/04；该实用新型晶圆载具仓储系统是由陈安如;周菀莹设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具仓储系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆载具仓储系统，包括仓储本体、多个暂存载台模块、搬运机器人、移载模块以及控制模块。仓储本体具有载入端口与输出端口。暂存载台模块设置于仓储本体内，且位于载入端口的上方。搬运机器人活动地设置于仓储本体内，以在载入端口、暂存载台模块与输出端口之间移动。移载模块设置于载入端口。控制模块电性连接搬运机器人与移载模块。载入端口适配于多种型式的晶圆载具或多种型式的载入装置。控制模块驱动移载模块与搬运机器人，以将晶圆载具移至暂存载台模块或输出端口。本实用新型提供的晶圆载具仓储系统，其整合多种型式的晶圆载具为传送对象，据以提高适配范围与兼容性。
本实用新型晶圆载具仓储系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具仓储系统，其特征在于，包括： 仓储本体，具有载入端口与输出端口； 多个暂存载台模块，设置于所述仓储本体内，且位于所述载入端口的上方； 搬运机器人，活动地设置于所述仓储本体内，以在所述载入端口、所述多个暂存载台模块与所述输出端口之间移动； 移载模块，设置于所述载入端口；以及 控制模块，电性连接所述搬运机器人与所述移载模块， 其中所述载入端口适配于多种型式的晶圆载具或多种型式的载入装置，所述控制模块驱动所述移载模块与所述搬运机器人，以将所述晶圆载具移至所述暂存载台模块或所述输出端口。
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