苏州纳希微半导体有限公司顾筠俊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州纳希微半导体有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222985073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421878278.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆清洗装置是由顾筠俊设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，且公开了一种晶圆清洗装置，包括清洁箱，清洁箱的内部底面固定连接有多组支撑杆，每组支撑杆之间均固定连接有两块半圆板，半圆板两角和最下端均开设有让位口，清洁箱的侧壁贯穿安装有三根转杆，多根转杆的外壁固定连接有多个橡胶阻尼辊，橡胶阻尼辊位于让位口内，清洁箱的外壁安装有电机；本实用新型通过将晶圆放置在两块半圆板之间，晶圆通过多根橡胶阻尼辊进行支撑，利用电机驱动其中一根转杆转动，进而使位于晶圆最下方的橡胶阻尼辊带动晶圆在两块半圆板之间转动，并通过喷水单元对晶圆的两侧进行喷水清洗，实现同时对晶圆的两侧进行清理，一次性可对多块晶圆进行清洁，清理效率高，方便对晶圆进行清洗。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，包括清洁箱1，其特征在于，清洁箱1的内部底面固定连接有多组支撑杆2，每组支撑杆2之间均固定连接有两块半圆板3，半圆板3两角和最下端均开设有让位口4，清洁箱1的侧壁贯穿安装有三根转杆5，多根转杆5的外壁固定连接有多个橡胶阻尼辊6，橡胶阻尼辊6位于让位口4内，清洁箱1的外壁安装有电机8，电机8通过传动带与最低处的其中一根转杆5传动连接，清洁箱1的底面安装有与其内部连通的排水管10，清洁箱1的侧壁安装有用于对晶圆进行两侧清洗的喷水单元9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州纳希微半导体有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市漕湖街道春耀路18号3E产业园3-101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号