安徽益东惠电子科技有限公司吴文一获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽益东惠电子科技有限公司申请的专利一种测量真空材料的放气性能测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222994386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421912056.X,技术领域涉及:G01N27/62;该实用新型一种测量真空材料的放气性能测试装置是由吴文一;石晓沛设计研发完成,并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种测量真空材料的放气性能测试装置在说明书摘要公布了:一种测量真空材料的放气性能测试装置,其包括机械泵、第一分子泵、前级阀、磁铁和限位块,所述机械泵的一侧通过管道连接有第一分子泵,机械泵与第一分子泵之间的管道上安装有前级阀,第一分子泵的一侧通过管道连接有第二分子泵,前级阀与第一分子泵之间的管道上安装有电阻规,第二分子泵的一侧通过管道分别连接有超高真空微调阀和超高真空截止阀,超高真空微调阀前端的管道上安装有超高真空放气阀,本实用新型结构新颖,构思巧妙,采用动态流导法针对材料的放气性能进行定性及定量的分析,主要测试材料放气种类、放气率、不同气体的放气量和总的放气量,可以切换加热器对真空室所有的本底都能进行烘烤除气,提高本底真空度。
本实用新型一种测量真空材料的放气性能测试装置在权利要求书中公布了:1.一种测量真空材料的放气性能测试装置,包括机械泵1、第一分子泵2、前级阀3、第二分子泵4、电阻规5、超高真空放气阀6、超高真空微调阀7、气体质量流量计8、高真空进气阀9、储气罐10、解压阀11、气瓶12、超高真空截止阀13、超高真空电离规14、流导测量装置15、超高真空阀16、测量室17、样品室18、样品传送装置19、样品室加热烘箱20、四级杆质谱仪21、超高真空电离计22、样品加热平台23、超高真空系统烘箱24、真空管路加热套25、轨道26、电磁控制装置27、磁铁28和限位块29,其特征在于:所述机械泵1的一侧通过管道连接有第一分子泵2,机械泵1与第一分子泵2之间的管道上安装有前级阀3,第一分子泵2的一侧通过管道连接有第二分子泵4,前级阀3与第一分子泵2之间的管道上安装有电阻规5,第二分子泵4的一侧通过管道分别连接有超高真空微调阀7和超高真空截止阀13,超高真空微调阀7前端的管道上安装有超高真空放气阀6,超高真空微调阀7的后端通过管道连接有气体质量流量计8,气体质量流量计8的一侧通过管道连接有高真空进气阀9,高真空进气阀9的一侧通过管道连接有储气罐10,储气罐10的一侧通过管道连接有解压阀11,解压阀11的一侧通过管道连接有气瓶12,超高真空截止阀13的一端通过管道连接有超高真空阀16,超高真空截止阀13的两侧连接有辅管道,辅管道上依次安装有超高真空电离规14和流导测量装置15,超高真空阀16的一侧通过管道连接有测量室17,测量室17的一侧通过管道与样品室加热烘箱20的样品室18连接,样品室加热烘箱20内安装有样品传送装置19,测量室17上安装有四级杆质谱仪21,测量室17位于四级杆质谱仪21的一侧安装有超高真空电离计22,样品传送装置19由底端设置的轨道26,轨道26上滑动连接的样品加热平台23,样品加热平台23的一端安装有磁铁28,轨道26的一端安装有限位块29。
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