上海积塔半导体有限公司苏显月获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利X射线荧光分析仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222994369U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421922172.X，技术领域涉及：G01N23/223；该实用新型X射线荧光分析仪是由苏显月;闫晓晖;拉海忠;王莉菲;刘慧娟设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本X射线荧光分析仪在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种X射线荧光分析仪，包括：第一腔体，所述第一腔体包括多个载台，所述载台用于放置晶圆；第二腔体，包括X射线检测器；移动装置，用以将所述晶圆转移至所述第二腔体内，以使所述X射线检测器检测所述晶圆的标定位置薄膜的膜厚；真空泵，用以抽取所述第一腔体和所述第二腔体内的气体，以使所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力达到预设压力。本实用新型通过在第一腔体内增设载台的数量，当检测与载台同等数量的晶圆标定位置处的薄膜时，所有晶圆可同时转移至第一腔体，以使第一腔体进行抽真空以及破真空，减少检测时抽真空和破真空的次数，进而减少检测时间，提高分析仪的检测效率。
本实用新型X射线荧光分析仪在权利要求书中公布了：1.一种X射线荧光分析仪，其特征在于，包括： 第一腔体，包括多个载台，所述载台用于放置晶圆； 第二腔体，包括X射线检测器； 移动装置，用以将所述晶圆转移至所述第二腔体内，以使所述X射线检测器检测所述晶圆的标定位置薄膜的膜厚； 真空泵，用以抽取所述第一腔体和所述第二腔体内的气体，以使所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力达到预设压力。
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