芯恩(青岛)集成电路有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利半导体离子注入设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995349U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421929036.3，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型半导体离子注入设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体离子注入设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体离子注入设备，包括承载盘、磁铁及光栅定位件，承载盘用以承载晶圆；磁铁位于承载盘外侧，用以提供磁场；光栅定位件与承载盘连接，用以改变承载盘与磁场间的位置。本实用新型的半导体离子注入设备，通过磁铁的设置可提供磁场，使注入的离子在晶圆内部可受磁场力作用产生自转，减小向下运动的概率，从而控制离子注入深度，实现离子注入深度的精准控制；通过光栅定位件的设置，可实现承载盘与磁场间的高精度及高可靠性位置调节，进而便捷的调节晶圆所受到的磁场影响区域，满足制程需求，扩大应用范围。
本实用新型半导体离子注入设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体离子注入设备，其特征在于，所述半导体离子注入设备包括： 承载盘，所述承载盘用以承载晶圆； 磁铁，所述磁铁位于所述承载盘外侧，用以提供磁场； 光栅定位件，所述光栅定位件与所述承载盘连接，用以改变所述承载盘与所述磁场间的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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