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常州亿晶光电科技有限公司狄云飞获国家专利权

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龙图腾网获悉常州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种微纳米气泡清洗水槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222985107U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421933214.X,技术领域涉及:B08B3/10;该实用新型一种微纳米气泡清洗水槽是由狄云飞;张飞;徐明靖;孙铁囤设计研发完成,并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种微纳米气泡清洗水槽在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种微纳米气泡清洗水槽,具有外槽体,外槽体内设有内槽体,所述的内槽体内腔底部设有溢流管道,所述溢流管道管路连接有进水管道,进水管道进水端连接有通入纯水的纯水管,进水管道上依次设有水泵和气液混合泵,所述气液混合泵连接有通入氮气的氮气管,溢流管道上开设有溢流孔;所述溢流管道上方的内槽体内安装有匀流板,所述匀流板上开设有矩阵分布的匀流孔,放置硅片的花篮支架设在匀流板上。本实用新型采用在纯水进入清洗槽体的管路上,通过气液混合泵加入氮气形成含有微纳米气泡的机能水,经过溢流管道布满整个内槽体内,从而对硅片进行机能水清洗,有效地提高了清洗效果,也防止了清洗过程中产生碎片。

本实用新型一种微纳米气泡清洗水槽在权利要求书中公布了:1.一种微纳米气泡清洗水槽,具有外槽体1,外槽体1内设有内槽体2,其特征是:所述的内槽体2内腔底部设有溢流管道3,所述溢流管道3管路连接有进水管道4,进水管道4进水端连接有通入纯水的纯水管5,进水管道4上依次设有水泵6和气液混合泵7,所述气液混合泵7连接有通入氮气的氮气管8,溢流管道3上开设有溢流孔9;所述溢流管道3上方的内槽体2内安装有匀流板10,所述匀流板10上开设有矩阵分布的匀流孔11,放置硅片的花篮支架12设在匀流板10上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州亿晶光电科技有限公司,其通讯地址为:213213 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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