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连科半导体有限公司胡动力获国家专利权

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龙图腾网获悉连科半导体有限公司申请的专利一种卧式碳化硅外延炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118835311B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411121939.3,技术领域涉及:C30B25/08;该发明授权一种卧式碳化硅外延炉是由胡动力;王人松;石海洋;贾新旺设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种卧式碳化硅外延炉在说明书摘要公布了:本发明属于卧式碳化炉技术领域,具体的说是一种卧式碳化硅外延炉,包括单层石英炉室一及对称设置在单层石英炉室一两侧中心表面上的密封法兰,活动搭接在密封法兰外侧表面上的滑块,活动套接在滑块、密封法兰和单层石英炉室一内侧壁面上的石英管,所述滑块的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元。本发明将石英管的一端对接到套筒的内侧壁面上,同时配合套筒内侧壁面上的限位槽对石英管的一端位置进行限定,同时配合套筒内侧壁面上的贴合软条一增加与石英管表面之间的摩擦力,套筒内圈一层的贴合软条一可以有效且均匀的覆盖在石英管的表面上,进而增加石英管与套筒之间在位置上的限定。

本发明授权一种卧式碳化硅外延炉在权利要求书中公布了:1.一种卧式碳化硅外延炉,包括单层石英炉室一(11)及对称设置在单层石英炉室一(11)两侧中心表面上的密封法兰(12),活动搭接在密封法兰(12)外侧表面上的滑块(14),活动套接在滑块(14)、密封法兰(12)和单层石英炉室一(11)内侧壁面上的石英管(13),其特征在于:所述滑块(14)的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元,所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块(14)顶部表面上的定位套圈(141),所述定位套圈(141)的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒(142),所述套筒(142)的内侧壁面上活动套接有推杆(144),所述推杆(144)的一端上固定连接有活动套接在套筒(142)内侧壁面上的锥形盘(145),所述套筒(142)的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在锥形盘(145)外侧表面上的扩张软套头(146),所述扩张软套头(146)的外侧表面固定连接有贴合软条二(147),所述套筒(142)的内侧壁面上设置有贴合软条一(143),所述扩张软套头(146)和套筒(142)的衔接位置处设置有限位槽(148); 所述密封法兰(12)的外侧表面上固定安装有水平定位单元,所述水平定位单元包括固定连接在单层石英炉室一(11)一侧表面上的固定台臂(122),所述单层石英炉室一(11)的一侧表面且位于固定台臂(122)的两侧边缘位置上固定连接有限位轨道(121),所述固定台臂(122)的顶部表面上固定连接有限位套壳(123),所述固定台臂(122)和限位套壳(123)的对接处活动套接有转盘(125),所述固定台臂(122)的外侧表面上活动套接有设置在转盘(125)内侧壁面上的螺纹杆(124)所述螺纹杆(124)的一端上固定连接有闭合定位盖(126),一号闭合定位盖(126)的外侧表面活动套接在限位套壳(123)的内侧壁面,两组所述闭合定位盖(126)的内侧表面上固定连接有垫高硅胶条(127),两组所述闭合定位盖(126)的外侧表面上固定连接有卡接头(128),所述卡接头(128)的外侧表面上活动套接有卡接锁扣(1210),所述卡接锁扣(1210)的一侧表面设置有螺纹伸缩杆(129),二号闭合定位盖(126)的外侧表面上设置有挤压限位槽(1211)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人连科半导体有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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