江苏蚩煜科技有限公司李婷婷获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏蚩煜科技有限公司申请的专利一种高真空五维位移平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990198U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422001470.1，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种高真空五维位移平台是由李婷婷;陈妍;李磊;邵玮设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高真空五维位移平台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空位移台技术领域，具体公开了一种高真空五维位移平台，包括：底座，底座的上端通过调节柱连接有导轨下支撑板，导轨上支撑板的内部设置有丝杆本体，Z轴移动板的上端通过Y轴交叉导轨连接有Y轴移动板，Y轴移动板的上端通过X轴交叉导轨连接有X轴移动板；X轴移动板与Y轴移动板之间设置有X轴调节件，Y轴移动板与Z轴移动板之间设置有Y轴调节件；本实用新型具有高精度定位：高真空五维位移台用微分头控制X轴与Y轴移动，能够提供非常精细的调整，实现亚微米级的定位精度；多维度调整：提供更复杂的空间定位能力，可调节自由度多；操作简便：五维位移台采有直观的旋转手柄和旋钮，使得操作简便。
本实用新型一种高真空五维位移平台在权利要求书中公布了：1.一种高真空五维位移平台，其特征在于，包括：底座23，所述底座23的上端通过调节柱连接有导轨下支撑板8，所述导轨下支撑板8的上端一侧通过导轨组7连接有导轨上支撑板4，所述导轨上支撑板4的内部设置有丝杆本体2，所述丝杆本体2两端分别与所述导轨下支撑板8和所述导轨上支撑板4连接，所述丝杆本体2的外端通过螺纹连接件连接有Z轴移动板6，所述Z轴移动板6的上端通过Y轴交叉导轨14连接有Y轴移动板12，所述Y轴移动板12的上端通过X轴交叉导轨11连接有X轴移动板10，所述X轴移动板10的内部安装有波纹管9，所述Y轴移动板12的内部开设有开口槽，所述波纹管9的下端与所述底座23连接； 所述X轴移动板10与所述Y轴移动板12之间设置有X轴调节件，所述Y轴移动板12与所述Z轴移动板6之间设置有Y轴调节件。
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