博纳半导体设备(浙江)有限公司刘亮获国家专利权
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龙图腾网获悉博纳半导体设备(浙江)有限公司申请的专利涂胶机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222984783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422020117.8，技术领域涉及：B05C9/12；该实用新型涂胶机是由刘亮设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体的是涂胶机，本实用新型包括机壳，所述机壳的内部通过挡板进行分隔，在机壳的内部的中心处形成转移仓，机壳的内部且位于转移仓的两侧形成加工仓；所述机壳内部设置有可旋转的环形罩，加工仓内且位于环形罩的中心处固定安装有底部清洗液喷出单元，底部清洗液喷出单元和环形罩不连接，本实用新型通过在晶圆移送到机壳内部时，可以首先在对准仓内完成晶圆的位置对准，在加工仓内部完成晶圆的涂胶和清洗、最后分别在干燥仓和冷却仓内部完成晶圆的干燥和冷却，同时实现晶圆的涂胶、清洗和干燥，具有更高的集成度和自动化程度，能够更加快速的完成晶圆的涂胶加工。
本实用新型涂胶机在权利要求书中公布了：1.涂胶机，包括机壳1，其特征在于，所述机壳1的内部通过挡板进行分隔，在机壳1的内部的中心处形成转移仓101，机壳1的内部且位于转移仓101的两侧形成加工仓102； 所述机壳1内部设置有可旋转的环形罩3，加工仓102内且位于环形罩3的中心处固定安装有底部清洗液喷出单元4，底部清洗液喷出单元4和环形罩3不连接，加工仓102内壁的顶部固定安装有顶部清洗液喷出单元15，顶部清洗液喷出单元15和底部清洗液喷出单元4用于喷出清洗液对晶圆的底板和顶部进行清洗，环形罩3的上方固定连接有托起板6，托起板6上开设有弧形槽口7，托起板6的顶部且位于弧形槽口7的四周固定连接有电动吸盘8，电动吸盘8用于对晶圆进行吸附。
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