研微(江苏)半导体科技有限公司严怀余获国家专利权
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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利一种反应腔室组件及外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990280U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422059105.6，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种反应腔室组件及外延设备是由严怀余;高培培;杨家豪设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应腔室组件及外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种反应腔室组件及外延设备，反应腔室组件包括加热环和反应腔室，加热环设置在反应腔室内，加热环的内侧容纳用于放置衬底的托盘，反应腔室包括底板，底板的两个相对侧边上分别设置第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁之间设置导流板，第一侧壁、第二侧壁以及导流板中每一个的侧面上都设置至少一个第一支撑部，加热环的边缘处设置与第一支撑部分别对应的第二支撑部。本实用新型实施例通过简单结构实现对于加热环的支撑，该简单结构便于安装，可降低安装过程中部件碰撞碎裂的可能性；反应腔室的下腔没有其他冗余的部件，防止清洗气流形成湍流，还能使得下侧照进来的辐射光比较均匀的抵达托盘。
本实用新型一种反应腔室组件及外延设备在权利要求书中公布了：1.一种反应腔室组件，其特征在于，包括加热环和反应腔室，所述加热环设置在所述反应腔室内，所述加热环的内侧容纳用于放置衬底的托盘，所述反应腔室包括底板，所述底板的两个相对侧边上分别设置第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁之间设置导流板，所述第一侧壁、所述第二侧壁以及所述导流板中每一个的侧面上都设置至少一个第一支撑部，所述加热环的边缘处设置与所述第一支撑部对应的第二支撑部。
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