森一量子科技(厦门)有限公司柯剑斌获国家专利权
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龙图腾网获悉森一量子科技(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆研磨加工组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222986639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422097171.2,技术领域涉及:B24B37/28;该实用新型一种晶圆研磨加工组件是由柯剑斌;秦永清;雷云设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨加工组件在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆研磨加工组件,涉及晶圆加工设备领域,包括底板和晶圆,底板间隔设置有若干凹槽。晶圆通过固化胶固定粘贴于底板,且固化胶填充于若干凹槽。在晶圆通过固化胶固定粘贴于底板时,利用凹槽排空气,排胶,减少胶层内的气泡,改善晶圆与底板的粘贴强度。同时,由于凹槽内会填充固化胶,增加固化胶与底板的接触面积,进一步加强粘贴强度。此外,上述优点允许固化胶的厚度更薄,进而减低固化胶用量。
本实用新型一种晶圆研磨加工组件在权利要求书中公布了:1.一种晶圆研磨加工组件,包括晶圆和底板,其特征在于:所述底板具有第一端面,所述第一端面间隔设置有若干凹槽;所述晶圆具有第二端面,第二端面通过固化胶固定粘贴于所述第一端面,且固化胶填充于若干所述凹槽,凹槽的至少一端延伸至第二端面的投影区域之外。
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