珠海市钯金电子科技有限公司梁灿获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市钯金电子科技有限公司申请的专利一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119144947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411190933.1,技术领域涉及:C23C18/48;该发明授权一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺是由梁灿;梁国涛设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺在说明书摘要公布了:本发明属于半导体加工技术领域,尤其公开了一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺,包括两个并列设置的底板,两个底板之间设置有溶液框,化学镀溶液处于溶液框的两个放置槽内部,所述底板顶部利用支杆固定有支板,且支板顶部固定有顶块,所述溶液框顶部设置有放置架,所述放置架对应放置在多个顶块顶部,顶块顶面设置有三角槽。本发明通过滑架利用升降部件带动升降板和半导体材料在放置架内侧移动时,使得升降板带动半导体材料在溶液框顶部平滑的移动,避免半导体材料在移动过程中肆意晃动,防止半导体材料表面残留的化学镀溶液肆意溅射,保护周围环境的同时,也能避免化学镀溶液的浪费。
本发明授权一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺在权利要求书中公布了:1.一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺,包括两个并列设置的底板1,两个底板1之间设置有溶液框2,化学镀溶液处于溶液框2的两个放置槽3内部,所述底板1顶部利用支杆固定有支板4,且支板4顶部固定有顶块5,其特征在于:所述溶液框2顶部设置有放置架6,所述放置架6对应放置在多个顶块5顶部,顶块5顶面设置有三角槽,且放置架6底面设置有与三角槽对应的楔块,所述放置架6顶面两侧均设置有拉板7,且放置架6利用拉板7与控制部件输出端连接,控制部件利用拉板7控制放置架6上下移动,并且控制部件控制放置架6在溶液框2顶部水平移动,所述放置架6顶面两侧均设置有侧板8,两个侧板8相对设置,所述侧板8中心处设置有横槽,所述横槽内部插接有滑板9,滑板9外侧端固定有滑块10,两个侧板8之间设置有滑架11,滑架11两侧面底部分别与两个滑板9内侧端连接,滑架11底面以及滑块10底面均与放置架6顶面贴合,滑架11内侧设置有升降板12,且滑架11内侧设置有控制升降板12上下移动的升降部件,且升降板12中心处设置有竖槽,且竖槽底部转动卡接有横杆13,横杆13圆周外侧面固定有多个支条14,且半导体材料顶部通过通孔挂放在多个支条14表面; 所述横杆13圆周外侧面固定有两个环板15,两个环板15分别处于升降板12两侧,且环板15表面螺旋套接有螺帽16,螺帽16内侧面与升降板12侧面贴合; 所述升降部件包括顶板18,所述升降部件还包括两个相对设置的竖板21,所述滑架11两内侧壁均设置有内槽22,竖板21外侧端处于内槽22内部,所述竖板21内侧部设置有方圆杆23,方圆杆23内侧端活动插接在顶板18端部,方圆杆23外侧端固定有连接块24,所述连接块24外侧端固定有竖条25,且竖板21内侧面设置有与竖条25对应的条槽26;所述竖板21外侧部设置有转套27,且竖板21外侧面底部设置有卡杆,转套27转动套接于卡杆表面,转套27外侧端连接有螺杆28,螺杆28螺旋贯穿滑板9和滑块10,所述竖板21外侧面顶部固定有贯穿滑架11的侧杆29;所述方圆杆23表面套接有弹簧30,弹簧30内侧端连接顶板18端部,弹簧30外侧端连接连接块24内侧面,弹簧30处于压缩状态; 所述加工工艺包括以下步骤: S1、半导体材料通过通孔挂放在横杆13的多个支条14表面,控制部件利用拉板7使得放置架6对应放置在溶液框2顶部,且放置架6利用楔块与顶块5的三角槽对应; S2、升降部件使得升降板12下移,下移的升降板12利用横杆13表面的支条14使得半导体材料下移到溶液框2的放置槽3内部,放置槽3内侧的化学镀溶液对半导体材料进行镀层加工。
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