北京日扬弘创智能装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种晶圆搬运机械手及晶圆制造系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422104757.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆搬运机械手及晶圆制造系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运机械手及晶圆制造系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆搬运机械手，包括第一抓手和第二抓手，扁平的第一抓手能够伸入晶圆料框内叠放的晶圆之间，并抓取单片的晶圆，为晶圆上料提供有力保障；与此同时，本实用新型的晶圆搬运机械手还包括第二抓手，第二抓手包括多个固定头，每一固定头均连接有吸盘，以吸取、放松晶圆，从而完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料，多个固定头可同时搬运多片晶圆。本实用新型的晶圆搬运机械手可应用于晶圆料框上料和晶圆研磨设备的上下料，提高了机械手的灵活适应性，相较于现有技术中通过两组机械手臂上下料，简化了晶圆制造系统，提高了晶圆生产制造效率。本实用新型还提供一种晶圆制造系统，包括上述的晶圆搬运机械手。
本实用新型一种晶圆搬运机械手及晶圆制造系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运机械手，其特征在于，包括： 第一抓手，所述第一抓手为扁平状结构，所述第一抓手能够伸入晶圆料框内叠放的晶圆之间以抓取单片晶圆； 第二抓手，所述第二抓手包括多个固定头，每一所述固定头均连接有吸盘，所述吸盘位于所述固定头的底部，所述吸盘与吸附气源相连通，所述吸附气源能够对所述吸盘进行抽气、充气操作，以使所述吸盘吸附、放松晶圆； 所述第一抓手以及所述第二抓手均能够与机械臂相连，所述机械臂能够带动所述第一抓手以及所述第二抓手运动。
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