强茂半导体(徐州)有限公司方廷宇获国家专利权
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龙图腾网获悉强茂半导体(徐州)有限公司申请的专利一种用于切割盘的真空稳定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422122715.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种用于切割盘的真空稳定装置是由方廷宇;刘保成;叶文臣;万翠凤;李镇;从艳滋设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于切割盘的真空稳定装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于切割盘的真空稳定装置，包括切割盘、第一真空发生器和水气分离装置，水气分离装置安装于切割盘与第一真空发生器之间，水气分离装置具有一容器，容器设有水气入口、排气口和排水口，水气入口、排气口的位置高于排水口的位置，容器的外侧设置液位显示计；水气入口通过管路与真空吸盘连接，排气口与第一真空发生器的第一负压吸口连接。利用水气分离装置，实现液体和气体的分离，避免晶圆切割过程中，切割水通过切割盘上的小孔进入到第一真空发生器中，保证真空吸盘真空吸附的稳定性，保证晶圆切割质量；还设置第二真空发生器，使水气分离装置内的水能迅速排出，提高水气分离装置的水、气分离效果以及排水效果。
本实用新型一种用于切割盘的真空稳定装置在权利要求书中公布了：1.一种用于切割盘的真空稳定装置，包括 切割盘，其具有多孔平台和真空吸盘； 第一真空发生器，其具有第一供气口、第一排气口和第一负压吸口，所述第一供气口连接压缩空气气源；其特征在于，还包括 水气分离装置，其安装于所述切割盘与所述第一真空发生器之间，所述水气分离装置具有一容器，所述容器设有水气入口、排气口和排水口，所述水气入口、排气口的位置高于所述排水口的位置；所述水气入口通过管路与所述真空吸盘连接，所述排气口与所述第一真空发生器的所述第一负压吸口连接。
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