苏州维克优真空技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州维克优真空技术有限公司申请的专利双面镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222990202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422147953.2,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型双面镀膜设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本双面镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种双面镀膜设备,包括入料腔、镀膜腔和出料腔,入料腔内设置有用于传输基片载具的第一滚轮传输线,镀膜腔内设置有第二滚轮传输线和第三滚轮传输线,出料腔内设置有第四滚轮传输线,第一滚轮传输线与第二滚轮传输线相对应,第二滚轮传输线与第三滚轮传输线之间设置有第一载具平移组件,第二滚轮传输线与第三滚轮传输线转动方向相反,第二滚轮传输线与第三滚轮传输线之间设置有若干个双向溅射镀膜阴极机构,第三滚轮传输线与第四滚轮传输线相对应,所述入料腔和镀膜腔内设置有用于对基片进行加热的加热装置,所述入料腔和镀膜腔内设置有用于对可凝性蒸汽进行抽除的冷阱装置。该双面镀膜设备不仅实现了对产品的双面镀膜,还提高了生产效率。
本实用新型双面镀膜设备在权利要求书中公布了:1.双面镀膜设备,其特征在于,包括入料腔1、镀膜腔2和出料腔3,入料腔1内设置有用于传输基片载具的第一滚轮传输线11,镀膜腔2内设置有第二滚轮传输线21和第三滚轮传输线22,出料腔3内设置有第四滚轮传输线31,第一滚轮传输线11与第二滚轮传输线21相对应,第二滚轮传输线21与第三滚轮传输线22之间设置有第一载具平移组件23,第二滚轮传输线21与第三滚轮传输线22转动方向相反,第二滚轮传输线21与第三滚轮传输线22之间设置有若干个双向溅射镀膜阴极机构24,第三滚轮传输线22与第四滚轮传输线31相对应; 所述入料腔1和镀膜腔2内均设置有用于对基片进行加热的加热装置4,所述入料腔1和镀膜腔2内设置有用于对可凝性蒸汽进行抽除的冷阱装置5。
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