无锡瑞达半导体专用设备有限公司王宜获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡瑞达半导体专用设备有限公司申请的专利一种晶圆清洗机夹持机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422166868.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆清洗机夹持机构是由王宜;王瑜;王嘉玮设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗机夹持机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗机夹持机构，包括传动组件，其内设置有驱动件，该驱动件的输出端上安装有贯穿至传动组件外部的连接轴，通过驱动件带动连接轴转动；安装套，固定套设在连接轴上，并随着连接轴同步转动，该安装套的底部还连接有连接杆，而连接杆的底端连接有夹板，在对晶圆清洗的夹持中，通过连接轴带动安装套转动，安装套带动连接杆、夹板同步转动，实现晶圆夹持在两块夹板之间，以此完成夹持工作；在连接杆与夹板的连接处还设置有缓冲组件，该缓冲组件由检测件与弹性件构成；通过设计的缓冲组件，在保证对晶圆夹持稳定的基础上，避免力度过大而对晶圆造成夹持损伤的现象，同时该缓冲组件结构简单，方便加工生产。
本实用新型一种晶圆清洗机夹持机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机夹持机构，包括 传动组件100，其内设置有驱动件，该驱动件的输出端上安装有贯穿至传动组件100外部的连接轴101； 安装套200，固定套设在连接轴101上，并随着连接轴101同步转动，该安装套200的底部还连接有连接杆202，而连接杆202的底端连接有夹板204； 其特征在于： 在连接杆202与夹板204的连接处还设置有缓冲组件，该缓冲组件由检测件与弹性件构成，其中 检测件与弹性件分别设置与连接杆202摆动方向的两侧位置，该弹性件始终与所述连接杆202贴合或相抵。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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