珠海东辉半导体装备有限公司刘涛获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海东辉半导体装备有限公司申请的专利一种晶圆料盒放置载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222995373U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422163998.9,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种晶圆料盒放置载台是由刘涛;郭良;梁贤设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆料盒放置载台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工领域,公开了一种晶圆料盒放置载台,能够将晶圆料盒定位安装在载台上并能够平衡晶圆料盒。本实用新型包括底座;第一定位销,设于底座的中部;多个第二定位销,设于底座,多个第二定位销以第一定位销中心,朝多个方向设置;多个调位机构,设于第二定位销之间,调位机构能够沿上下方向活动。
本实用新型一种晶圆料盒放置载台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆料盒放置载台,其特征在于,包括: 底座100; 第一定位销200,设于所述底座100的中部; 多个第二定位销300,设于所述底座100,多个所述第二定位销300以所述第一定位销200中心,朝多个方向设置; 多个调位机构400,设于相邻的所述第二定位销300之间,所述调位机构400能够沿上下方向活动。
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