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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利一种进气管组和沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990206U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422166037.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气管组和沉积装置是由王治博;毛文龙;梁笑设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种进气管组和沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种进气管组和沉积装置，涉及低压化学气相沉积领域，包括：应用于炉管，炉管包括：依次设置的第一区域、第二区域和第三区域；进气管组包括：设置于第一区域的第一进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；设置于第二区域的第二进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；设置于第三区域的第三进气管，进气管的侧面有泄压孔，端部设置有出气口；三个进气管沿环绕炉管中心的排气管的周向分布；本实用新型提供的进气管组，通过在进气管上设置特定的泄压孔，解决了沉积用气量较高的缺陷，同时显著提升了所得膜层的膜厚片内均匀性和膜厚片间均匀性，提升了低压化学气相沉积装置的使用性能。

本实用新型一种进气管组和沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种进气管组，应用于炉管，其特征在于，所述炉管包括：依次设置的第一区域、第二区域和第三区域； 所述进气管组包括： 设置于第一区域内舟下方的第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有至少一个第一泄压孔，所述第一进气管的端部设置有第一出气口； 设置于第二区域内舟下方的第二进气管，所述第二进气管的侧面设置有至少一个第二泄压孔，所述第二进气管的端部设置有第二出气口； 设置于第三区域内舟下方的第三进气管，所述第三进气管的侧面设置有至少一个第三泄压孔，所述第三进气管的端部设置有第三出气口； 所述第一泄压孔、第二泄压孔和第三泄压孔的开口均朝向所述炉管的顶部； 所述炉管的中心区域设置有排气管，所述第一进气管、第二进气管和第三进气管沿环绕所述排气管的周向分布；以所述排气管为顶点，所述第一进气管与所述排气管形成第一连线，所述第二进气管与所述排气管形成第二连线，所述第三进气管与所述排气管形成第三连线，所述第二连线和所述第三连线之间的夹角β大于所述第一连线和第二连线之间的夹角α。

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